Приложение
для AndroidПолное описание
| ГРНТИ | УДК | |
| 29.19.31 | 537.311.322:544 | |
| 47.09.37 | 621.382-03 |
Рубрики:
Полупроводники -- Физико-химические свойства
Полупроводниковые приборы -- Материалы
Кл.слова (ненормированные): АДСОРБЦИЯ -- БИНАРНЫЕ СИСТЕМЫ -- ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- КАПИЛЛЯРНАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ФАЗОВЫЕ РАВНОВЕСИЯ
Аннотация: Рассмотрены основные физико-химические аспекты технологии материалов полупроводниковой электроники, уделено внимание формированию и описанию растворов, а также их распаду, приведены основы теории диффузии и теории адсорбции. Детально изложены некоторые разделы термодинамики растворов и фазовых равновесий, которые служат основами технологии получения материалов и структур электронной техники. Представлены некоторые лабораторно-практические задачи, решение которых облегчает понимание протекающих процессов. Предназначено для проведения занятий по дисциплине: "Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники" для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", а также для магистрантов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области твердотельной электроники.
Доп. точки доступа:
Александрова, Ольга Анатольевна
Максимов, Александр Иванович
Мараева, Евгения Владимировна
Муратова, Екатерина Николаевна
Налимова, Светлана Сергеевна
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-25/43706)
Шифр в сводном ЭК: 90189402d4e7ba173be439bb82d45066
Технология материалов микроэлектроники: методы разделения и очистки : учебное пособие / Д. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева, 2020. - 202, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Александрова, Ольга Анатольевна. Технология материалов микросистемной техники : учебно-методическое пособие / О. А. Александрова, Е. В. Мараева, 2020. - 84, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Особенности фазового анализа полупроводниковых систем и твердых растворов : учебное пособие / А. И. Максимов, С. С. Налимова, Е. В. Мараева, В. А. Мошников, 2020. - 75 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наночастицы, наносистемы и их применение: сенсорика, энергетика, диагностика / А. Н. Алешин, А. О. Белорус, И. А. Врублевский [и др.]; под редакцией В. А. Мошникова, А. И. Максимова, 2020. - 272 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наноматериалы, нанотехнологии в наноэлектронике и микросистемной технике : учебное пособие / И. А. Аверин, А. В. Гузь, А. А. Карманов [и др.]; под редакцией И. А. Аверина, В. А. Мошникова, 2021. - 106, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наночастицы, наносистемы и их применение. Формирование наносистем для сенсорики и медицины / О. А. Александрова, Ю. В. Балакшин, А. Д. Большаков [и др.]; под редакцией В. А. Мошникова, А. И. Максимова, 2021. - 193 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Технология материалов микроэлектроники: эпитаксиальный рост : учебное пособие / Д. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева, 2022. - 198, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Альтернативная энергетика : учебное пособие / О. А. Александрова, Д. В. Жилина, А. И. Максимов [и др.]; [под ред. В. А. Мошникова, Е. Н. Муратовой], 2022. - 111 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наночастицы, наносистемы и их применение. Каталитические наносистемы / Е. В. Абрашова, М. А. Аникина, А. А. Бобков [и др.]; под редакцией В. А. Мошникова, А. И. Максимова, 2022. - 219 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наноматериалы. Нитевидные нанокристаллы: синтез и характеризация : учебное пособие / А. Д. Большаков, В. М. Кондратьев, В. А. Мошников, С. С. Налимова; [под ред. В. А. Мошникова], 2023. - 82 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Материалы электронной техники : лабораторный практикум / Б. Л. Антипов, Г. Н. Виолина, Н. П. Лазарева [и др.; под ред. А. В. Соломонова], 2023. - 71, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наночастицы, наносистемы и их применение : перспективные фотоактивные системы для солнечной энергетики / С. В. Балабанов, В. П. Безверхний, А. А. Бобков [и др.] ; под редакцией В. А. Мошникова, Е. Н. Муратовой, 2024. - 232 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Физико-химические фазовые взаимодействия в технологических процессах : учебное пособие / О. А. Александрова, А. И. Максимов, Е. В. Мараева [и др.], 2025. - 146, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Горячев А.В. Эволюционные методы анализа и синтеза проектных решений / А. В. Горячев, Н. Е. Новакова, 2016. - 159 с. - Текст : непосредственный.Бруслиновский Б.В. Нелинейные системы управления : учебное пособие / Б. В. Бруслиновский, Н. А. Доброскок, А. В. Морозов, 2017. - 88 с. - Текст : непосредственный.Горелая А.В. Физические основы получения информации оптическими методами : учебное пособие / А. В. Горелая, Ю. В. Филатов, 2016. - 60 с. - Текст : непосредственный.Чурганова С.С. Оптика и атомная физика : учебное пособие / С. С. Чурганова, И. А. Черемухина, 2017. - 56 с. - Текст : непосредственный.Иванов С.Г. Лекции по линейной алгебре и геометрии : учебное пособие / С. Г. Иванов, Е. А. Толкачева, А. В. Чирина, 2017. - 32 с. - Текст : непосредственный.Виолина Г.Н. Физика полупроводников / Г. Н. Виолина, В. И. Зубков, 2017. - 106 с. - Текст : непосредственный.Нисковский А.В. Проектирование и администрирование сетей : учебное пособие / А. В. Нисковский, А. А. Андреева, 2016. - 54 с. - Текст : непосредственный.Лавренко Ю.Е. История радиотехники : учебное пособие / Ю. Е. Лавренко, М. Т. Иванов, 2017. - 111 с. - Текст : непосредственный.Статистическая теория радиотехнических и телекоммуникационных систем : учебное пособие : [в 3 ч.] / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина). Ч. 2 / О. М. Андреева [и др.], 2017. - 234 с. - Текст : непосредственный.Жукова Т.Н. Управление проектами в условиях неопределенности : учебное пособие / Т. Н. Жукова, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Воробьев С.В. Основные понятия, положения и уравнения механики твердого деформированного тела : учебное пособие / С. В. Воробьев, О. П. Кормилицын, 2018. - 31, [1] с. - Текст : непосредственный.Типовые расчеты по различным разделам высшей математики : учебное пособие / А. Л. Белопольский, Н. Г. Гоголева, С. А. Колбина [и др.], 2018. - 78, [1] с. - Текст : непосредственный.Абрамова М.Н. Интегральное исчисление функции одной переменной : учебное пособие / М. Н. Абрамова, В. Г. Казакевич, Е. А. Толкачева, 2017. - 31 с. - Текст : непосредственный.Воронова А.А. Применение программной среды LabVIEW для моделирования процессов в сетевых технологиях : учебное пособие / А. А. Воронова, А. В. Воронов, И. Р. Кузнецов, 2018. - 61 с. - Текст : непосредственный.Воробьев Е.Г. Планирование защиты и контроля безопасности информации в компании в терминах, таблицах и рисунках : учебное пособие / Е. Г. Воробьев, А. К. Племянников, В. Н. Сабынин, 2017. - 36 с. - Текст : непосредственный.Копыльцов А.А. Модели и алгоритмы слабоформализованных объектов и процессов / А. А. Копыльцов, А. В. Копыльцов, 2016. - 162 с. - Текст : непосредственный.Антенны и распространение радиоволн : учебное пособие / В. С. Алексеев, С. В. Балландович, С. В. Грачев [и др.], 2018. - 107 с. - Текст : непосредственный.Бугров А.Н. Полимер-неорганические материалы биомедицинского назначения. Особенности формирования, структура и свойства : учебное пособие / А. Н. Бугров, А. И. Шуклина, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Илюшов Г.С. Модели пассивных компонентов в среде схемотехнического проектирования Micro-Cap 9 : учебное пособие / Г. С. Илюшов, 2017. - 55 с. - Текст : непосредственный.Виртуальное символьное проектирование параметризованных фрагментов КМОП БИС / И. С. Зуев, С. Э. Миронов, Н. М. Сафьянников, А. Б. Максимов, 2016. - 1 o=электрон. опт. диск (CD-ROM). - Текст : электронный.
Показать все результатыРоманов О.В. Физика границ раздела и пограничных явлений / О. В. Романов, 1991. - 104 с. - Текст : непосредственный.Абрамов А.С. Фотоиндуцированные эффекты в аморфном кремнии и приборных структурах на его основе : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. С. Абрамов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Арсенид галлия. Получение, свойства и применение, 1973. - 471 с. - Текст : непосредственный.Аверин И.А. Получение и свойства эпитаксиальных слоев на основе халькогенидов свинца / И. А. Аверин, 1999. - 64 с. - Текст : непосредственный.Медведева И.Ф. Влияние примесного состава и предварительных термообработок на процессы образования и отжиг радиационных дефектов в кремнии -типа : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / И. Ф. Медведева, 1998. - 17 с. - Текст : непосредственный.Филатова Т.Н. Поверхностные физико-химические свойства полупроводниковой системы InSb-CdS : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : диссертация на соискание ученой степени канд. хим. наук / Т. Н. Филатова, 2006. - 19 с. - Текст : непосредственный.Пивоваров Ю.В. Моделирование конвекции расплава полупроводникового материала при зонной плавке : специальность 05.13.18 "Математическое моделирование,численные методы и комплексы программ" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Ю. В. Пивоваров, 2006. - 19 с. - Текст : непосредственный.Абдуллаев А.А. Фотоэлектрические свойства и фотоферромагнитный эффект в СdCr2Se4 / А. А. Абдуллаев, 2006. - 25 с. - Текст : непосредственный.Здоровейщев А.В. Влияние физико-химической модификации покровного слоя на морфологию и фотоэлектронные спектры квантовых точек InAs/GaAs, выращенных газофазной эпитаксией / А. В. Здоровейщев, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ткаченко В.А. Малая треугольная квантовая точка: формирование, эффекты кулоновской блокады и одночастичной интерференции : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / В. А. Ткаченко, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.JAXA Special publication / Japan aerospace exploration agency (Tokyo). JAXA-SP-05-036E : Effects of microgravity environment on growth related properties of semiconductor alloys (InGaAs)- Growth of homogeneous crystals-, 2006. - 32 p. - Текст : непосредственный.Беляков В.А. Теория межзонной излучательной рекомбинации в кремниевых нанокристаллах, легированных мелкими примесями / В. А. Беляков, 2008. - 22 с. - Текст : непосредственный.Келбиханов Р.К. Структура и свойства пленок теллура, полученных в квазизамкнутом объеме и с приложением постоянного электрического поля / Р. К. Келбиханов, 2008. - 26 с. - Текст : непосредственный.Дмитриев А.И. Спиновая динамика в наноструктурах магнитных полупроводников / А. И. Дмитриев, 2008. - 20 с. - Текст : непосредственный.Ищенко А.А. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля / А. А. Ищенко, Г. В. Фетисов, Л. А. Асланов, 2011. - 647 с. - Текст : непосредственный.Малкович Р.Ш. Математика диффузии в полупроводниках / Р. Ш. Малкович, 1999. - 389 с. - Текст : непосредственный.La rivista del nuovo cimento.Ser.4 / Soc. italiana di fisica. 26, N 5-6 : Excitonic optical properties of nanostructures: real density matrix approach / G.Czajkowski,F.Bassani,L.Silvestri, 2003. - 150 p. - Текст : непосредственный.Семенов В.Н. Процессы формирования тонких слоев полупроводниковых сульфидов из тиомочевинных координационных соединений : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим. наук / В. Н. Семенов, 2002. - 46 с. - Текст : непосредственный.Настовьяк А.Г. Кинетика и механизмы формирования нановискеров в системах Si-Au, Ge-Au (моделирование) / А. Г. Настовьяк, 2010. - 21 с. - Текст : непосредственный.Демишев С.В. Физические свойства аморфного антимонида галлия и аморфных полупроводников на его основе, синтезируемых в условиях высокого давления : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук / С. В. Демишев, 1993. - 27 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыШишкин И.И. Синтез и исследование фотонных структур и метаматериалов / И. И. Шишкин, 2014. - 20 с. - Текст : непосредственный.Введение в структурную кристаллографию. Зонная теория металлов и полупроводников : учебно-методическое пособие / Министерство образования и науки РФ, Марийский государственный университет, Физико-математический факультет, 2018. - 151 с. - Текст : непосредственный.Интеграционные проекты СО РАН / Российская академия наук. Сибирское отделение. Вып. 31 : Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах / В. А. Гриценко [и др.]; отв. ред. А.Л. Асеев, В. А. Гриценко, 2011. - 158 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Капитанова О.О. Наноструктуры с резистивным переключением на основе оксида графена : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.21, 01.04.07 / О. О. Капитанова, 2014. - 18 с. - Текст : непосредственный.Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химия поверхности полупроводников / Ф. Ф. Волькенштейн, 1973. - 399 с. - Текст : непосредственный.Тарелкин С.А. Исследование слоистых структур на основе легированных бором монокристаллов алмаза для применения в полупроводниковой электронике : 01.04.10 - Физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / С. А. Тарелкин, 2019. - 27 с. - Текст : непосредственный.62 Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, сотрудников, аспирантов и студентов ВГТУ (г. Воронеж, 27 апреля 2022 г.) : материалы конференции: секции "Материалы и технология полупроводниковых приборов", "Проектирование и надежность полупроводниковых приборов и ИС" / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Воронежский государственный технический университет, 2022. - 44 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Материалы и технологии фотоники, электроники и нелинейной оптики : материалы всероссийской конференции с международным участием, 10-13 сентября 2024 г. / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский Томский государственный университет [и др.], 2024. - 87 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Физико-химические фазовые взаимодействия в технологических процессах : учебное пособие / О. А. Александрова, А. И. Максимов, Е. В. Мараева [и др.], 2025. - 146, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽