• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Методология и опыт создания объектов и инфраструктуры современного микроэлектронного производства / Безгин Ф. Г., Журавлев В. Г., Картавцев В. С. [и др.]. - Москва : ТЕХНОСФЕРА, 2025. - 319 с. : ил. - Авт. указаны в содерж. - Библиогр. в конце ст. - 100 экз. - ISBN 978-5-94836-705-7. - DOI 10.22184/978-5-94836-705-7. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76-047.84
    621.3.049.76-047.56

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Микроэлектронные приборы -- Проектирование

    Кл.слова (ненормированные): ИНВЕСТИЦИИ -- ИНЖЕНЕРНЫЕ СИСТЕМЫ -- КАПИТАЛЬНОЕ СТРОИТЕЛЬСТВО -- МИКРОСХЕМЫ -- ОБОРУДОВАНИЕ -- ПРИБОРОСТРОЕНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- РЕКОНСТРУКЦИЯ -- ТЕХНИЧЕСКОЕ ПЕРЕВООРУЖЕНИЕ
    Аннотация: В сборнике статей изложен систематизированный опыт и методология по вопросам создания объектов микроэлектронного производства, соответствующих чистых комнат, а также систем подготовки технологических сред и их подключения и подачи на технологическое оборудование. Работа является коллективным трудом специалистов, практически занимавшихся указанными вопросами при создании и запуске микроэлектронного производства. Первая глава (Безгин Ф. Г., Журавлев В. Г., Картавцев В. С., Кундывус Д.С., Ранчин С. О.) описывает терминологию и алгоритм создания объектов электронной промышленности. Во второй главе (Евдокимов В. Л., Ранчин С. О.) даны основные требования к технологическим средам при изготовлении структур кремниевых микросхем. Третья глава (Просий А. Д., Яснов В. С.) посвящена вопросам создания систем очистки и контроля газовых и жидкостных технологических сред в реальном производстве. В четвертой главе (Просий А. Д., Кимрова А. П., Кузьмина Е. А., Глинский А.С.) описана методика и результаты ультраследового анализа применяемой деионизованной воды. Пятая глава (Евдокимов В. Л., Ранчин С. О.) посвящена вопросам монтажа, подключения и испытаний линий подачи сред на технологическое оборудование. Материалы книги, издающейся в формате сборника актуальных авторских статей, носят практический и конкретный характер. Комплексно освещенные методология и практический опыт могут быть использованы при создании и модернизации объектов и систем технологического обеспечения современных отечественных микроэлектронных и других прецизионных лабораторий и производств.
    Доп. точки доступа:
    Безгин, Федор Георгиевич
    Журавлёв, Виктор Геннадьевич
    Журавлев В.Г.
    Картавцев, Владимир Сергеевич
    Кундывус, Дмитрий Сергеевич
    Ранчин, Сергей Олегович

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-25/81821)

    Шифр в сводном ЭК: e3978d1aa0622ada23448a7faa168536



    Заказ фрагмента документа ₽