• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Александров, Олег Викторович. Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография / О. В. Александров, Н. Н. Афонин, А. И. Дусь ; Министерство просвещения Российской Федерации, Воронежский государственный педагогический университет. - Воронеж : Воронежский гос. пед. ун-т, 2025. - 210 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - 500 экз. - ISBN 978-5-907961-52-4. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.14.07621.3.049.771.14-047.58
    47.33.31621.3.049.77-047.58

    Рубрики:
    Интегральные схемы большие -- Моделирование
    Интегральные схемы -- Моделирование

    Кл.слова (ненормированные): ДЕФЕКТЫ -- ДИФФУЗИЯ ФОСФОРА -- ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ -- КРАЕВАЯ ЗАДАЧА -- КРЕМНИЙ -- ЛЕГИРУЮЩИЕ ПРИМЕСИ -- ОКИСЛЕНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
    Аннотация: Предметом рассмотрения в монографии являются разработанные авторами оригинальные физико-химические и математические модели термического окисления, диффузии и сегрегации легирующих примесей применительно к технологии кремниевых ИМС. Они отражают современный уровень понимания физико-химической природы процессов термического окисления, диффузии и сегрегации, отвечая задачам разработки новейших СБИС с субмикронными размерами топологических элементов. Монография может представлять интерес для научных работников, инженеров, и аспирантов, специализирующихся в области твердотельной электроники, микро- и наноэлектроники, физики и техники полупроводников, химии твёрдого тела. Кроме того, она может быть полезна в учебном процессе при подготовке студентов физических, химических и физико-технических специальностей, связанных с изучением физики, химии и техники полупроводников и полупроводниковых приборов.
    Доп. точки доступа:
    Афонин, Николай Николаевич
    Дусь, Андрей Игоревич
    Воронежский государственный педагогический университет

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-25/36207)

    Шифр в сводном ЭК: e7de71bc516f5d927343a540aeba2bba



    Заказ фрагмента документа ₽