• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Оракова, Мариям Мустафаевна. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / М. М. Оракова, Р. Р. Нагаплежева, О. О. Молоканова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Кабардино-Балкарский государственный университет имени Х. М. Бербекова. - Нальчик : КБГУ, 2024. - 49 с. : ил. - Библиогр.: с. 49 (6 назв.). - 50 экз. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.17621.3.049.77-047.84

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОСХЕМЫ -- ОЧИСТКА -- ПЕРЕХОДЫ -- ПОДГОТОВКА ПЛАСТИН -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЛОИ -- ЭПИТАКСИЯ
    Аннотация: Издание содержит ключевые темы курса "Основы технологии электронной компонентной базы". В пособии рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС. химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки "Электроника и наноэлектроника".
    Доп. точки доступа:
    Нагаплежева, Рузана Руслановна
    Молоканова, Ольга Олеговна
    Кабардино-Балкарский государственный университет имени Х. М. Бербекова (Нальчик)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-24/31992)

    Шифр в сводном ЭК: 4ca2def8a61ec37028049bec97264f2f



    Заказ фрагмента документа ₽