• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 : монография / Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, А. В. Князев [и др.] ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева. - Нижний Новгород : Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2024. - 211 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 184-211 (311 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-502-01790-9. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.23
    47.33.33621.383-03-047.84

    Рубрики:
    Полупроводниковые пленки -- Производство
    Оптоэлектронные приборы -- Материалы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ДИОКСИД ТЕЛЛУРА -- ДОПИРОВАНИЕ -- НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЙ ОКСИД ЦИНКА -- ОКСИДНЫЕ НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- СВОЙСТВА -- СИНТЕЗ
    Аннотация: Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 . Монография будет интересна для прочтения специалистам разного профиля, занимающимся исследованиями в области физической химии, материаловедения, химии твердого тела и плазмохимии, а также студентам, аспирантам и слушателям, специализирующимся в этих направлениях.
    Доп. точки доступа:
    Мочалов, Леонид Александрович
    Кудряшов, Михаил Александрович
    Князев, Александр Владимирович
    Алмаев, Алексей Викторович
    Слаповская, Екатерина Андреевна
    Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-24/25358)

    Шифр в сводном ЭК: 6213dc966aca5ce577468f6e04d855b6



    Заказ фрагмента документа ₽