Полное описание

Brauch, I. H. Wissenbasierte Modellierung des LIGA-Fertigungsprozesses : Diss. / I.H.Brauch. - Karlsruhe : [s. n.], 1994. - 89 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; 5427). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.87-89

ГРНТИ	УДК
47.13.17	621.3.049.77-047.84:776

Рубрики:
Фотолитография

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/5427)

Шифр в сводном ЭК: b0e6b971222d60abca154e4bbd213a20

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽