• ВХОД
  •  

    Полное описание

    "Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", международная конференция (4 ; Махачкала). IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023" (АСО-Россия-2023) = 4th International conference "Atomic layer deposition: Russia-2023", Махачкала, Россия, 15-18 сентября 2023 г. : сборник тезисов докладов / Министерство науки и высшего образования РФ, Дагестанский государственный университет [и др.]. - Махачкала : Изд-во ДГУ, 2023. - 122 с. : ил. - Текст парал. рус., англ. - Парал. тит. л. англ. - Библиогр. в конце докл. - 100 экз. - ISBN 978-5-9913-0279-1. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    81.09539.216.2(062)
    47.01.13621.38-416(062)
    76.09.31615.46(062)

    Рубрики:
    Пленки -- Методы исследования -- Съезды и конференции
    Пленочная электроника -- Съезды и конференции
    Биоматериалы -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): БИОМЕДИЦИНСКОЕ ПРИМЕНЕНИЕ -- ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ОКСИДНЫЕ СИСТЕМЫ -- ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ АККУМУЛЯТОРЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
    Аннотация: В сборнике приведены тезисы докладов, представленных на IV Международной конференции "Атомно-слоевое осаждение: Россия-2023", организованной ФГБОУ ВО "Дагестанский государственный университет" и прошедшей на базе Научно-оздоровительного комплекса "Журавли" с 15 по 18 сентября 2023 г. В материалах докладов изложены результаты исследований в области синтеза новых тонкопленочных материалов, улучшения физико-химических свойств известных материалов, модификации поверхности структур методами атомно- и молекулярно-слоевого осаждения (молекулярного наслаивания), а также плазма-стимулированного атомно-слоевого осаждения/травления. Рассмотрены вопросы исследования свойств и характера роста наноразмерных пленок, получаемых методом атомно-слоевого осаждения разнообразными физико-химическими методами, такими как эллипсометрия, спектроскопия диффузного отражения, кварцевое пьезоэлектрическое микровзвешивание и др.
    Доп. точки доступа:
    Дагестанский государственный университет (Махачкала)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-23/77587)

    Шифр в сводном ЭК: c94b9ab59bc70804019edfcf24d10945



    Заказ фрагмента документа ₽