Приложение
для AndroidПолное описание
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.09 | 621.38-03-047.84 |
Рубрики:
Электронные материалы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): ВЫРАЩИВАНИЕ -- ВЫРАЩИВАНИЕ ИЗ РАСПЛАВА -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ОБОРУДОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЛОИ -- ТЕХНОЛОГИИ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ
Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и модели процессов роста монокристаллов с использованием теории случайных процессов при разработке систем автоматического управления на основе низкоэнергетических воздействий, обеспечивающих получение монокристаллов высокой однородности. Обобщены основные подходы к модельному описанию роста эпитаксиальных слоёв на основе рассмотрения равновесий фаз многокомпонентных систем, макро- и микрокинетики парофазной эпитаксии элементарных и многокомпонентных полупроводников. Рассмотрено аппаратурное оформление процессов роста кристаллов и эпитаксиальных слоёв. Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в получении и исследовании материалов микро- и наноэлектроники, для всех работающих в области разработки новых материалов, оптимизации технологических процессов, а также студентов и аспирантов по направлениям подготовки 04.03.02 "Химия, физика и механика материалов"; 22.03.01 "Материаловедение и технология материалов" и др.
Доп. точки доступа:
Косушкин, Виктор Григорьевич
Кожитов, Лев Васильевич
Попкова, Алёна Васильевна
Супельник, Станислав Игоревич
Силаев, Иван Вадимович
Северо-Осетинский государственный университет имени Коста Левановича Хетагурова (Владикавказ)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-23/21209)
Шифр в сводном ЭК: c7159d56bd6fd852a57532ec7185ed2b
Адсорбция и взаимодействие атомов и молекул на поверхности металлических систем / Т. Т. Магкоев, И. В. Тваури, И. В. Силаев [и др.]; [под науч. ред. Г. А. Мустафаева], 2021. - 107 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Разработка способа управления сорбционной активностью нанотубулярных материалов для создания сенсорных наноустройств : монография / Н. П. Борознина, И. В. Запороцкова, Л. В. Кожитов [и др.], 2022. - 298, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Академические чтения : [серия] / Государственный музей истории и космонавтики имени К. Э. Циолковского, Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации (РАНХиГС), Калужский филиал. [Т. 2] : Циолковский и Чижевский: ".. в сиянье звезд постичь законы мира" : редакционный совет: Г. И. Ловецкий (составитель) [и др.] / сост. Г. И. Ловецкий, 2022. - 297 с. (Введено оглавление). - Текст (визуальный) : непосредственный.Физические основы растровой электронной микроскопии / Т. Т. Магкоев, И. В. Силаев, И. В. Тваури [и др.]; научный редактор В. В. Казьмирук, 2022. - 186 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Разработка цифровых технологий машинного обучения и нейронных сетей в физике адсорбционно-реакционных явлений: экспериментально-методический и методологический задел / Т. Т. Магкоев, И. В. Тваури, И. В. Силаев [и др.], 2022. - 127 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Математическое моделирование технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, С. Г. Емельянов [и др.], 2022. - 202 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Углеродные наноструктуры с примесными атомами бора: исследования строения и свойств : монография / С. В. Борознин, И. В. Запороцкова, Н. П. Борознина [и др.], 2023. - 334, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Математическое моделирование физических и технологических процессов : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, П. А. Ряполов [и др.]; под редакцией В. Г. Косушкина, П,А. Ряполова, 2023. - 210 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Базовые технологические процессы материалов электроники (рост кристаллов и эпитаксия) : коллективная монография / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, А. В. Попкова [и др.], 2023. - 367 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Вакуумные системы в проектировании, производстве и исследовании материалов электронной техники / В. Г. Косушкин, И. В. Силаев, Л. В. Кожитов [и др.], 2024. - 627 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Исследование физических свойств композитных наноматериалов, в том числе их взаимодействие с электромагнитным излучением : монография / И. В. Запороцкова, Н. П. Борознина, С. В. Борознин [и др.] ; под общей редакцией И. В. Запороцковой, 2024. - 612, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Синтез и свойства металлоуглеродных нанокомпозитов на основе прекурсоров "соли металлов - полимеры" и металлоорганических каркасов : монография / Д. Г. Муратов, И. В. Запороцкова, Л. В. Кожитов [и др.] ; под общей редакцией И. В. Запороцковой, 2025. - 494, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Технология и модели выращивания монокристаллов полупроводников методом вытягивания из расплава и процессы жидкофазной эпитаксии кремния / Косушкин В. Г., Силаев И. В., Кожитов Л. В. [и др.], 2026. - 237 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Труд и экономическая жизнь в республиках Северо-Кавказского федерального округа Российской Федерации / З. А. Атабиева, М. М. Бетильмерзаева, С. С. Бирагова [и др.], 2019. - 237 с. - Текст : непосредственный.Токаева Б.Б. Развитие энергосистемы Северного Кавказа / Б. Б. Токаева, 2019. - 180 с. - Текст : непосредственный.Наноразмерные структуры металлов / Т. Т. Магкоев, И. В. Силаев, С. А. Хубежов [и др.]; научный редактор: Райцев А. В., 2019. - 98 с. - Текст : непосредственный.Токаева С.К. Налогообложение нефтегазового сектора экономики в Российской Федерации / С. К. Токаева, Л. А. Туаева, 2019. - 139 с. - Текст : непосредственный.Бекузарова С.А. Учебно-методическое пособие по дисциплине "Патентоведение" : по направлениям подготовки: 05.04.06 Экология и природопользование, 05.04.02 - География: квалификация выпускника - магистр / С. А. Бекузарова, А. Д. Бекмурзов, 2019. - 99, [1] с. - Текст : непосредственный.Зембатова Л.Т. Организация работы над тестовой задачей в начальном курсе математики : учебно-методическое пособие / Л. Т. Зембатова, 2019. - 45 с. - Текст : непосредственный.Кулумбекова Т.Е. Кредитные ресурсы банковской системы: формирование, ограничения, риски и показатели использования : [монография] / Т. Е. Кулумбекова, Т. И. Токаева, З. В. Тибилова, 2019. - 180 с. - Текст : непосредственный.Актуальные проблемы химии, биологии и биотехнологии : материалы XII Всероссийской с международным участием научной конференции, 14-18 мая 2019 г. / Министерство науки и высшего образования РФ, Северо-Осетинский государственный университет имени Коста Левановича Хетагурова, 2019. - 273 с. - Текст : непосредственный.Токаева А.Б. Молодежная безработица на российском рынке труда : [монография] / А. Б. Токаева, 2019. - 200 с. - Текст : непосредственный.Токаева С.К. Компаративный анализ налоговых систем в мировой практике / С. К. Токаева, 2019. - 132 с. - Текст : непосредственный.Кебалова Л.А. Учебно-методическое пособие по выполнению курсовых работ к дисциплине "Геоэкология" / Л. А. Кебалова, 2019. - 20 с. - Текст : непосредственный.Токаева С.К. Налогообложение доходов граждан: российский и зарубежный опыт / С. К. Токаева, 2019. - 127 с. - Текст : непосредственный.Основы финансового риск-менеджмента : учебное пособие / Н. Б. Давлетбаева, С. Ш. Мамбетова, К. А. Жетписбаев [и др.], 2020. - 146 с. - Текст : непосредственный.Потенциал банковского кредитования: факторы расширения, принципы использования, влияние рисков, социальная значимость : сборник научных статей / Министерство науки и высшего образования РФ, Северо-Осетинский государственный университет им. К. Л. Хетагурова, 2020. - 125 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Токаева, Б. Б. Контроль и ревизия : учебное пособие. Ч. 1, 2020. - 165 с. - Текст : непосредственный.Агузарова, Лариса Асланбековна. Местные налоги и сборы в Российской Федерации / Л. А. Агузарова, Ф. С. Агузарова, 2020. - 159 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Сатцаева И.К. Научные основы продуктов питания : учебное пособие / И. К. Сатцаева, 2020. - 101 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Токаева, Светлана Константиновна. Специфика применения налога на добычу полезных ископаемых в современной налоговой системе России / С. К. Токаева, 2020. - 149 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Токаева, Светлана Константиновна. Налоговые поступления как источник формирования доходов федерального бюджета Российской Федерации / С. К. Токаева, 2020. - 121 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Токаева, Светлана Константиновна. Налог на прибыль организаций: практика его применения в российской системе налогообложения / С. К. Токаева, 2020. - 144 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Показать все результатыАзаматов З.Т. Дефекты в материалах квантовой электроники / З. Т. Азаматов, З. Т. Азаматов, П. А. Арсеньев, Х. С. Багдасаров ; Ред. М. Т. Шпак, 1991. - 259 c. - Текст : непосредственный.Журнал функциональных материалов : Ежемес. научно-технический журн. - Журнал выходит с 2007г. - Текст : непосредственный.Журавлева Л.В. Электроматериаловедение : учебное пособие / Л. В. Журавлева, 2008. - 351 с. - Текст : непосредственный.Перспективные материалы для электроники нового поколения : сборник научных трудов / Ред. Ю. М. Таиров, 1993. - 88 с. - Текст : непосредственный.Hennemann O.-D. Handbuch Fertigungstechnologie Kleben : монография / O.-D. Hennemann, W. Brockmann, H. Kollek, 1992. - XIII,768 S. S. - Текст : непосредственный.Силкин Н.И. Оптическая и ЭПР-спектроскопия материалов квантовой электроники и нелинейной оптики на основе кристаллов фторидов, семейств дигидрофосфата и сульфата калия : специальность 01.04.05 "Оптика", 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Н. И. Силкин, 2009. - 40 с. - Текст : непосредственный.Протасова Л.Г. Физико-химические основы формирования структуры и свойств стекол Se Sy, Se S Me и Se S Me (Me=As, Sb, Ge) для оптоэлектроники : специальность 05.17.11 "Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Л. Г. Протасова, 2002. - 42 с. - Текст : непосредственный.Перминов В.Н. Электронное строение и энергетический спектр поверхности диоксида кремния, модифицированного ионами 3d- и 4d-элементов : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / В. Н. Перминов, 2006. - 18 с. - Текст : непосредственный.Фурса Т.В. Механоэлектрические преобразования в композиционных диэлектрических материалах : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Т. В. Фурса, 2006. - 36 с. - Текст : непосредственный.Пасынков В.В. Материалы электронной техники / В. В. Пасынков, В. С. Сорокин, 2001. - 367 с. - Текст : непосредственный.Springer series in advanced microelectronics / ed. K. Itoh [et al.]. 16 : High dielectric constant materials : VLSI MOSFET applications / ed.: H. R. Huff, D. C. Gilmer, 2005. - XXIV, 710 p. - Текст : непосредственный.Смоликов А.А. Наноматериалы : разговорник / А. А. Смоликов, 2006. - 83 с. - Текст : непосредственный.Ищенко А.А. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля / А. А. Ищенко, Г. В. Фетисов, Л. А. Асланов, 2011. - 647 с. - Текст : непосредственный.Кажева О.Н. Синтез и строение новых молекулярных проводников на основе катион-радикальных солей с анионами, содержащими ртуть и редкоземельные элементы : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / О. Н. Кажева, 2002. - 20 с. - Текст : непосредственный.NATO science series. Sub-ser.II, Mathematics, physics and chemistry. Vol. 126 : Physics of laser crystals : Proc. of the NATO advanced research workshop on physics of laser crystals, Kharkiv-Stary Saltov, Ukraine, 26 Aug. - 2 Sept., 2002 / NATO advanced research workshop on physics of laser crystals (2002; Kharkiv), 2003. - XIV,255 p. p. - Текст : непосредственный.Дорожкин С.И. Рост слитков и эволюция пор в карбиде кремния : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. И. Дорожкин, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.Ильичев В.А. Комплексы редкоземельных металлов с гетероциклическими лигандами для органических светоизлучающих диодов / В. А. Ильичев, 2011. - 25 с. - Текст : непосредственный.Егоров А.Ю. Азотсодержащие полупроводниковые твердые растворы AIIIBV-N - новый материал оптоэлектроники : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / А. Ю. Егоров, 2011. - 40 с. - Текст : непосредственный.Лямин А.Н. Разработка и исследование наноструктурированных поверхностей полимеров для электроники и медицины / А. Н. Лямин, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Тензорезистивная структура гетерогенных материалов / С. Х. Шамирзаев, М. Х. Агзамова, Н. А. Ахмедова, 1990. - 35 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыСигов, Александр Сергеевич (советский и российский физик ; 1945-). Материаловедение и технология конструкционных и функциональных материалов : учебное пособие. Ч. 3 : Базовые технологии конструкционных и функциональных материалов электроники, 2010. - 83 с. с. - Текст : непосредственный.
Физико-химические и физико-технологические принципы автоматизации управления в технологии производства материалов и изделий электронной техники : учебное пособие / В. М. Воротынцев, В. М. Малышев, П. Н. Дроздов [и др.], 2018. - 114 с. - Текст : непосредственный.Мальцева В.А. Технология материалов и изделий электронной техники : учеб. пособие / В. А. Мальцева, 2017. - 111 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники : специальность 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Ю. В. Клунникова, 2019. - 40 с. - Текст : непосредственный.Остроушко А.А. Физико-химические основы получения твердофазных материалов для электронной техники и катализа : учеб. пособие / А. А. Остроушко, 2011. - 159 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Разработка математических моделей и алгоритмов оптимизации производства изделий из сапфира для электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / Ю. В. Клунникова, 2011. - 19 с. - Текст : непосредственный.Клунникова Ю.В. Физико-технологические основы создания подложек сапфира для приборов твердотельной электроники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / Ю. В. Клунникова, 2016. - 40 с. - Текст : непосредственный.Новокрещенова Е.П. Технология материалов электронной техники : учеб. пособие / Е. П. Новокрещенова, 2009. - 222 с. - Текст : непосредственный.Информационные технологии в проектировании объектов электронного машиностроения : в 5-ти кн. Кн. 3 : Информационная технология в управлении качеством производства материалов на основе углеродных структур / В. А. Васин [и др.], 2011. - 211 с. - Текст : непосредственный.Белов А.И. Синтез и модификация свойств светоизлучающих кремниевых и кремний-углеродных нанокластеров в оксидных слоях с применением ионной имплантации : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / А. И. Белов, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Акчурин Р.Х. МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники / Р.Х. Акчурин, А. А. Мармалюк, 2018. - 487 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Толкачева, А. С. Технология керамики для материалов электронной промышленности : учебное пособие : в двух частях. Ч. 1, 2019. - 123 с. - Текст : непосредственный.Иваненко В.И. Разработка методов синтеза функциональных материалов на основе титана, ниобия и тантала в водных средах : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.17.01 / В. И. Иваненко, 2012. - 41 с. - Текст : непосредственный.Сысоев, О. И. Физико-химические основы технологии материалов и структур твердотельной электроники : учеб. пособие. Ч. 1, 2010. - 215 с. - Текст : непосредственный.Амелина О.Д. Разработка бесспековой технологии вакуумплотной корундовой керамики группы ВК100 для нужд электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / О. Д. Амелина, 2016. - 17 с. - Текст : непосредственный.Козин, Александр Андреевич. Технология перспективных материалов : учебно-методическое пособие / А. А. Козин, В. И. Шаповалов, 2019. - 99 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Гришечкин, Михаил Борисович. Применение газофазных технологий для глубокой очистки веществ на основе редких элементов : 2.6.7 - Технология неорганических веществ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Гришечкин Михаил Борисович, 2021. - 17 с. - Текст : непосредственный.Лебедев, Валерий Валентинович. Интенсификация процессов сушки и разделения зернистых материалов в аппарате с АГР : монография / В. В. Лебедев, Н. А. Филиппова, 2022. - 107 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Математическое моделирование физических и технологических процессов : учебное пособие / В. Г. Косушкин, Л. В. Кожитов, П. А. Ряполов [и др.]; под редакцией В. Г. Косушкина, П,А. Ряполова, 2023. - 210 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽