• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Атанова, Александра Владимировна. Структура и свойства композиций (PZT)-LNO-SiO2-Si, пористых пленок PZT и композитов на их основе для применения в микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Атанова Александра Владимировна ; Федеральный научно-исследовательский центр Кристаллография и фотоника Российской академии наук, Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова РАН. - 2023. - 22 с. - Библиогр.: с. 19-22. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.33621.3.049.76-03(043)
    621.315.612-416(043)

    Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА -- ЭЛЕКТРОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
    Доп. точки доступа:
    "Кристаллография и фотоника", федеральный научно-исследовательский центр. Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар23-2509)

    Шифр в сводном ЭК: b6881ad2eeaca7278e58d992708e6b20



    Заказ фрагмента документа ₽