Приложение
для AndroidПолное описание
Ultra clean processing of semiconductor surfaces X : the 10th intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS 2010), was held in Oostende, Belgium, on Sept. 20-22, 2010 / International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (10; 2010; Oostende) ; ed. P. Mertens [et al.]. - Durnten-Zurich : Trans tech publ., 2012. - on-line. - (Solid state phenomena, ISSN 1662-9779 ; vol. 187). - URL: https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.187. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-03813-700-9. - Текст : электронный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.315.592-047.84(063) |
Кл.слова (ненормированные): КОНФЕРЕНЦИИ -- ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИКИ
Доп. точки доступа:
Mertens, P.\ed.\
International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (10 ; 2010 ; Oostende)
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.187
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ?-852673508)
Шифр в сводном ЭК: fee204976c4e7dcc27fc319bd1bea970
Wieczorrek H.W. Management von IT-Projekten / H. W. Wieczorrek, P. Mertens, 2007 r=on-line. - Текст : электронный.Мертенс П. Интегрированная обработка информации. Операционные системы в промышленности / П. Мертенс, 2007. - 422 с. - Текст : непосредственный.Mertens P. Integrierte informationsverarbeitung 1 : operative Systeme in der Industrie / P. Mertens, 2007 r=on-line. - Текст : электронный.Solid state phenomena. Vol. 134 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces VIII : sel., peer rev. papers from the 8th Intern. symp. on ultra clean proc. of semiconductor surfaces (UCPSS), held in Antwerp, Belgium, Sept. 18-20, 2006 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (8th; 2006; Antwerp), 2008. - XIV, 390 p. - Текст : непосредственный.Dispositionsparameter in der Produktionsplanung mit SAP : Einstellhinweise, Wirkungen, Nebenwirkungen / J. Dittrich [et al.], 2006 r=on-line. - Текст : электронный.Solid state phenomena. Vol. 145-146 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX : 9th Intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS) held in Bruges, Belgium, Sept. 22-24, 2008 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th; 2008; Bruges), 2009. - XVI, 400 p. - Текст : непосредственный.Dispositionsparameter in der Produktionsplanung mit SAP® : Einstellhinweise, Wirkungen, Nebenwirkungen / J. Dittrich [et al.], 2009. - Текст : электронный.Grundzuge der Wirtschaftsinformatik / P. Mertens [et al.], 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Meier M. Enterprise management with SAP SEM/ business analytics / M. Meier, P. Mertens, W. Sinzig, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Mertens P. Integrierte Informationsverarbeitung 1 : Operative Systeme in der Industrie / P. Mertens, 2009. - Текст : электронный.Ultra clean processing of semiconductor surfaces X : the 10th intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS 2010), was held in Oostende, Belgium, on Sept. 20-22, 2010 / International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (10; 2010; Oostende), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.
Light metals and their alloys II : vol. 2 / ed.; A. J. Dolata, M. Dyzia, 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Ferroics and multiferroics / ed.: H. Singh, W. Kleemann, 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Internal friction and mechanical spectroscopy : the 16th intern. conf. on internal friction and mechanical spectroscopy, ICIFMC-16, held on Jul. 3-8, 2011, in Lausanne, Switzerland / International conference on internal friction and mechanical spectroscopy (16; 2011; Lausanne), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Magnetism and magnetic materials V : the 5th intern. symp. on magnetism (MISM2011), held in Moscow, Aug. 21-25, 2011 / International symposium on magnetism (5; Moscow), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Advanced structural and functional materials for protection, ICMAT 2011 : symp. on advanced structural and functional materials for protection, ICMAT 2011, held on 26 Jun.-1 Jul. 2011 in Singapore / Symposium on advanced structural and functional materials for protection (2011; Singapore), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Electron microscopy XIV : proc. of the 14th intern. conf. on electron microscopy (EM2011), held in Wisla, Poland, from 26 to 30 Jun. 2011 / International conference on electron microscopy (14; 2011; Wisla), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Ultra clean processing of semiconductor surfaces X : the 10th intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS 2010), was held in Oostende, Belgium, on Sept. 20-22, 2010 / International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (10; 2010; Oostende), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Advanced materials and structures IV : the 4th intern. conf. on advanced materials and structures (AMS 2011), Timisoara, 2011 / International conference on advanced materials and structures (4; 2011; Timisoara), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыSolid state phenomena. Vol. 145-146 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX : 9th Intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS) held in Bruges, Belgium, Sept. 22-24, 2008 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th; 2008; Bruges), 2009. - XVI, 400 p. - Текст : непосредственный.Solid state phenomena. Vol. 131-133 : Gettering and defect engineering in semiconductor technology XII-GADEST 2007 : proc. of the 12th Intern. autumn meet. EMFCSC, Erice, Italy, Oct. 14-19, 2007 / International autumn meeting "Gettering and defect engineering in semiconductor technology-GADEST 2007" (12th; 2007; Erice), 2008. - XV, 642 p. - Текст : непосредственный.Materials science forum. Vol. 573-574 : Rapid thermal processing and beyond: applications in semiconductor processing : select. papers from RTP specialists all over the world, Dornstadt, Germany / ed.: W. Lerch, J. Niess, 2008. - XVI, 432 p. - Текст : непосредственный.Ultra clean processing of semiconductor surfaces X : the 10th intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS 2010), was held in Oostende, Belgium, on Sept. 20-22, 2010 / International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (10; 2010; Oostende), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания