• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Колосько, Анатолий Григорьевич. Основы микро- и нанотехнологий. Технология и производство : учебное пособие / А. Г. Колосько, С. В. Кузьмин ; Министерство цифрового развития, связи и массовых коммуникаций Российской Федерации, Санкт-Петербургский государственный университет телекоммуникаций им. М. А. Бонч-Бруевича (СПбГУТ). - Санкт-Петербург : СПбГУТ, 2022. - 114 с. : ил. - Библиогр.: с. 114 (10 назв.). - 25 экз. - ISBN 978-5-89160-276-2. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84
    47.13.07621.384-022.532-047.84

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Наноэлектронные устройства -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ЛИТОГРАФИЯ -- МОДИФИКАЦИЯ МАТЕРИАЛА -- МОНТАЖ -- СБОРКА -- СОЗДАНИЕ ПЛЕНОК -- СТРУКТУРА КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ -- ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОНИКИ
    Аннотация: Содержит сведения об основных приемах современных микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы модификации свойств материалов, методы создания тонких пленок и получения на их основе микроскопических структур литографическими методами. Описаны строение базовых элементов микроэлектроники и особенности проектирования современных интегральных схем. Представлены классические технологии, такие как молекулярно-лучевая эпитаксия, термодиффузия, ионная имплантация, травление, проекционная и лучевая литографии, MOSFET, FinFet, GAAFet, монтаж компонентов на платы и корпусирование, а также описаны и второстепенные технологии, такие как твердофазная эпитаксия, лазерное легирование, UltraCMOS, перьевая нанолитография, двойной дамасин, трехмерное формообразование с субмикронным разрешением, лазерное скрайбирование. Может быть использовано при проектировании и конструировании радиоэлектронных и электронно-вычислительных средств.
    Доп. точки доступа:
    Кузьмин, Сергей Викторович
    Санкт-Петербургский государственный университет телекоммуникаций им. М. А. Бонч-Бруевича

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-22/10556)

    Шифр в сводном ЭК: fcaad6d209295ffecf8f123bf348fc82



    Заказ фрагмента документа ₽