• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Голишников, Александр Анатольевич. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / А. А. Голишников, И. В. Сагунова, В. И. Шевяков ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2022. - 268 с. : ил. - Библиогр.: с. 262-264 (34 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-7256-0991-2. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.17621.3.049.77-047.84

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ФОРМИРОВАНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
    Аннотация: Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, специалистов, магистров), изучающих основы технологии изготовления ИС.
    Доп. точки доступа:
    Сагунова, Ирина Владимировна
    Шевяков, Василий Иванович
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-22/8175)

    Шифр в сводном ЭК: a8c392bdf4efc5673e116870947086e4



    Заказ фрагмента документа ₽