• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Чистоедова, Инна Анатольевна. Современные микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Изд-во ТУСУРа, 2022. - 55 с. : ил. - Библиогр.: с. 50-51 (22 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-86889-976-8. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84(076.5)
    47.13.07621.384-022.532-047.84(076.5)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Учебники и пособия
    Наноэлектронные устройства -- Производство -- Учебники и пособия

    Кл.слова (ненормированные): ГЕТЕРОБИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ -- МОП-ТРАНЗИСТОРЫ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
    Аннотация: Содержит варианты индивидуальных заданий для аудиторных практических занятий, тестовые задания, варианты индивидуальных заданий и контрольных работ, а также методические указания для организации самостоятельной работы. Индивидуальные задания представляют собой комплексные задания по всем разделам лекционного курса с элементами самостоятельного поиска материала. Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки магистров 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника".
    Доп. точки доступа:
    Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-22/8403)

    Шифр в сводном ЭК: 31644aff0f55d8373b4c677be4ea2573



    Заказ фрагмента документа ₽