• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Трегулов, Вадим Викторович. Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур : специальность 1.3.11. "Физика полупроводников": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук / Трегулов Вадим Викторович ; Рязанский государственный университет имени С. А. Есенина. - Рязань, 2022. - 39 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-39. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33621.315.592-416(043)
    47.09.29621.315.592.9(062)
    621.382(043)

    Кл.слова (ненормированные): ИЗГОТОВЛЕНИЕ -- КРЕМНИЕВЫЕ ПЛЕНКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- СВОЙСТВА
    Доп. точки доступа:
    Рязанский государственный университет имени С. А. Есенина

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар22-5922)

    Шифр в сводном ЭК: 148f4e03340397b174ed418ee9c4e68b



    Заказ фрагмента документа ₽