Полное описание
>
Александров, Олег Викторович. Радиационные процессы в микроэлектронике : учебное пособие / О. В. Александров ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : ЛЭТИ, 2022. - 43 с. : ил. - Библиогр.: с. 42 (14 назв.). - 43 экз. - ISBN 978-5-7629-3023-9. - Текст (визуальный) : непосредственный.| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.37 | 621.3.049.76:539.16 | |
| 47.13.33 | 621.3.049.76-047.84 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Влияние ионизирующих излучений
Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): ИОНИЗИРУЮЩЕЕ ОБЛУЧЕНИЕ -- МОП-СТРУКТУРЫ -- РАДИАЦИОННЫЕ ИЗЛУЧЕНИЯ -- РАДИАЦИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ -- СИСТЕМА КРЕМНИЙ-ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Аннотация: Рассмотрено влияние радиационных процессов на элементную базу микроэлектроники (МОП) и биполярные ИМС. Приведён анализ физических процессов при ионизирующем облучении МОП-структур Si-SiO2. Изучаются модели накопления объёмного заряда и поверхностных состояний во время и после ионизирующего облучения. Рассмотрено влияние технологических факторов на радиационную стойкость МОП и биполярных ИМС. Предназначено для студентов специальности 200300 "Электронные приборы и устройства" и магистрантов направления 550700 "Электроника и микроэлектроника" по дисциплине "Радиационные процессы в микроэлектронике".
Доп. точки доступа:
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-22/6469)>
Шифр в сводном ЭК: e91f7e6e7e082132228faf6a444735ea
Александров, Олег Викторович. Радиационные процессы в микроэлектронике : учебное пособие / О. В. Александров, 2022. - 43 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Александров, Олег Викторович. Моделирование технологических процессов в микроэлектронике : учебно-методическое пособие / О. В. Александров, Н. Н. Морозов, 2024. - 26 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Александров, Олег Викторович. Физико-технологическое моделирование интегральных микросхем: окисление, диффузия, сегрегация : монография / О. В. Александров, Н. Н. Афонин, А. И. Дусь, 2025. - 210 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Александров, Олег Викторович. Моделирование воздействия ионизирующего облучения на МОП-приборы / О. В. Александров, 2025. - 165 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Горячев А.В. Эволюционные методы анализа и синтеза проектных решений / А. В. Горячев, Н. Е. Новакова, 2016. - 159 с. - Текст : непосредственный.Бруслиновский Б.В. Нелинейные системы управления : учебное пособие / Б. В. Бруслиновский, Н. А. Доброскок, А. В. Морозов, 2017. - 88 с. - Текст : непосредственный.Горелая А.В. Физические основы получения информации оптическими методами : учебное пособие / А. В. Горелая, Ю. В. Филатов, 2016. - 60 с. - Текст : непосредственный.Чурганова С.С. Оптика и атомная физика : учебное пособие / С. С. Чурганова, И. А. Черемухина, 2017. - 56 с. - Текст : непосредственный.Иванов С.Г. Лекции по линейной алгебре и геометрии : учебное пособие / С. Г. Иванов, Е. А. Толкачева, А. В. Чирина, 2017. - 32 с. - Текст : непосредственный.Виолина Г.Н. Физика полупроводников / Г. Н. Виолина, В. И. Зубков, 2017. - 106 с. - Текст : непосредственный.Нисковский А.В. Проектирование и администрирование сетей : учебное пособие / А. В. Нисковский, А. А. Андреева, 2016. - 54 с. - Текст : непосредственный.Лавренко Ю.Е. История радиотехники : учебное пособие / Ю. Е. Лавренко, М. Т. Иванов, 2017. - 111 с. - Текст : непосредственный.Статистическая теория радиотехнических и телекоммуникационных систем : учебное пособие : [в 3 ч.] / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина). Ч. 2 / О. М. Андреева [и др.], 2017. - 234 с. - Текст : непосредственный.Жукова Т.Н. Управление проектами в условиях неопределенности : учебное пособие / Т. Н. Жукова, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Воробьев С.В. Основные понятия, положения и уравнения механики твердого деформированного тела : учебное пособие / С. В. Воробьев, О. П. Кормилицын, 2018. - 31, [1] с. - Текст : непосредственный.Типовые расчеты по различным разделам высшей математики : учебное пособие / А. Л. Белопольский, Н. Г. Гоголева, С. А. Колбина [и др.], 2018. - 78, [1] с. - Текст : непосредственный.Абрамова М.Н. Интегральное исчисление функции одной переменной : учебное пособие / М. Н. Абрамова, В. Г. Казакевич, Е. А. Толкачева, 2017. - 31 с. - Текст : непосредственный.Воронова А.А. Применение программной среды LabVIEW для моделирования процессов в сетевых технологиях : учебное пособие / А. А. Воронова, А. В. Воронов, И. Р. Кузнецов, 2018. - 61 с. - Текст : непосредственный.Воробьев Е.Г. Планирование защиты и контроля безопасности информации в компании в терминах, таблицах и рисунках : учебное пособие / Е. Г. Воробьев, А. К. Племянников, В. Н. Сабынин, 2017. - 36 с. - Текст : непосредственный.Копыльцов А.А. Модели и алгоритмы слабоформализованных объектов и процессов / А. А. Копыльцов, А. В. Копыльцов, 2016. - 162 с. - Текст : непосредственный.Антенны и распространение радиоволн : учебное пособие / В. С. Алексеев, С. В. Балландович, С. В. Грачев [и др.], 2018. - 107 с. - Текст : непосредственный.Бугров А.Н. Полимер-неорганические материалы биомедицинского назначения. Особенности формирования, структура и свойства : учебное пособие / А. Н. Бугров, А. И. Шуклина, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Илюшов Г.С. Модели пассивных компонентов в среде схемотехнического проектирования Micro-Cap 9 : учебное пособие / Г. С. Илюшов, 2017. - 55 с. - Текст : непосредственный.Виртуальное символьное проектирование параметризованных фрагментов КМОП БИС / И. С. Зуев, С. Э. Миронов, Н. М. Сафьянников, А. Б. Максимов, 2016. - 1 o=электрон. опт. диск (CD-ROM). - Текст : электронный.
Показать все результатыПолупроводниковая микроэлектроника : сборник научных трудов / Новосибирский электротехнический ин-т, 1989. - 113,5 c. c. - Текст : непосредственный.Зотов А.А. Физические основы устройств функциональной электроники / А. А. Зотов, Т. И. Чернышова, В. Н. Чернышов, 1993. - 208 c. - Текст : непосредственный.Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов, 2014. - 240 с. - Текст : непосредственный.Щука А. А. Наноэлектроника / А. А. Щука, 2007. - 463 с. - Текст : непосредственный.Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 1, 2007. - 450 с. - Текст : непосредственный.Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 2, 2007. - 310 с. - Текст : непосредственный.The second international workshop on surfaces..,Hawaii,7-12 Dec.1997 / Workshop on surfaces and interfaces of mesoscopic devices (2nd ; 1997 ; Hawaii) , 1998. - 183 p. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Очерки истории российской электроники. Вып. 5 : 50 лет отечественной микроэлектронике. Краткие основы и история развития / Б. М. Малашевич, 2013. - 799 с. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Орлова М.Н. Наноэлектроника : выставочные материалы / М. Н. Орлова, И. В. Борзых, 2013. - 49 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Гетеромагнитная микроэлектроника : Сб. науч. тр. / Рос. агентство по системам упр. Вып. 10 : Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Прикладные аспекты. Экономика. Методические аспекты физического образования / под ред. А. В. Ляшенко, 2011. - 147 с. - Текст : непосредственный.Ефимов И.Е. Основы микроэлектроники : учебное пособие / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, 2008. - 384 с. - Текст : непосредственный.Комаров А.С. Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития) / А. С. Комаров, Д. В. Крапухин, Е. И. Шульгин ; Ред. П. П. Мальцев, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный.Бобров И.И. Физические основы микроэлектроники : Курс лекций. Ч. 1, 1995. - 81 с. - Текст : непосредственный.Беседина К.Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина, 2014. - 16 с. - Текст : непосредственный.Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics . - Журнал выходит с 2006г.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМоделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Манукянц А.Р. Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем / А. Р. Манукянц, 2010. - 23 с. - Текст : непосредственный.Micro-nano technology XIII : материалы временных коллективов / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный.Лукичев А.Н. Прогнозирование функциональной реакции аналоговой микроэлектроники на радиационное воздействие с использованием автоматизированного макромоделирования / А. Н. Лукичев, 2012. - 18 с. - Текст : непосредственный.Моисеев К.М. Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники / К. М. Моисеев, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мир материалов и технологий. 6(14) : Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда; пер. с англ. А. В. Хачояна; под ред. Е. Б. Якимова, 2007. - 367 с. - Текст : непосредственный.Захарова И.Б. Физические основы микро- и нанотехнологий : выставочные материалы / И. Б. Захарова, 2010. - 200 с. - Текст : непосредственный.
Муслимов А.Э. Управляемая перестройка поверхности кристаллических подложек для формирования эпитаксиальных наноструктур / А. Э. Муслимов, 2018. - 43 с. - Текст : непосредственный.Осипов А.А. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. А. Осипов, 2019. - 19 с. - Текст : непосредственный.Спешилова А.Б. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. Б. Спешилова, 2019. - 21 с. - Текст : непосредственный.The 2010 International workshop on materials for advanced metallization, was held from Mar. 7th to Mar. 10th in Mechelen (Malines), Belgium / International workshop on materials for advanced metallization (2010; Mechelen (Malines)), 2011. - VIII, 536-845 p. - Текст : непосредственный.Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов [и др.], 2012. - 127 с. - Текст : электронный.Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. Т. 2 : Технологические аспекты, 2011. - 252 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Заказ фрагмента документа ₽