• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II : учебное пособие. - [Б. м.] : Новосибирский государственный технический университет, 2014 - . - URL: https://znanium.com/catalog/document?id=235022 (дата обращения: 12.04.2023). - Режим доступа: ЭБС ZNANIUM. - Текст : электронный.
    Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II / Величко А. А. - 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3

    УДК
    621.382
    ББК
    32.85
    РУБ
    13.04.02
    13.03.02

    Рубрики:
    Радиоэлектроника. Автоматика. Связь

    Кл.слова (ненормированные): МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ МАТЕРИАЛ -- НАНОЭЛЕКТРОННЫЙ МАТЕРИАЛ -- ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
    Аннотация: Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
    периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и
    методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате-
    риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со-
    временной науке технике и технологии.
    Пособие предназначено для студентов обучающихся по направлению
    «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа
    и контроля наноструктурированных материалов и систем» «Методы исследова-
    ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов» «Методы диагностики
    и анализа микро- и наносистем» и студентов обучающихся по направлению
    «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследова-
    ния микроэлектронных и наноэлектронных структур».
    Доп. точки доступа:
    Филимонова, Н. И.
    Филимонова, Нина Ивановна
    Экз-ры полностью 0700f574a9ff45f2c868e588bc8eaf88

    Электронная библиотечная система ZNANIUM


    Учебная литература:

    Держатели документа:
    ЭБС Znanium : 127282, г. Москва, ул. Полярная, д.31В, стр.1 (Шифр в БД-источнике (ZNANIUM): RU\infra-m\znanium\bibl\546528)

    Шифр в сводном ЭК: 0700f574a9ff45f2c868e588bc8eaf88



    Просмотр издания ЭБС ZNANIUM