Приложение
для AndroidПолное описание
Барсуков, Юрий Владимирович. Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов : 01.04.08 - физика плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Барсуков Юрий Владимирович ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. - Санкт-Петербург, 2022. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (26 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.315.592-047.84(043) | |
| 61.31.43 | 661.657.5(043) |
Кл.слова (ненормированные): НИТРИД БОРА -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- СИНТЕЗ НОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Доп. точки доступа:
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар22-2641)
Шифр в сводном ЭК: d7774d921d86507929f2acb53017746a
Планирование финансово-хозяйственной деятельности университета: теоретические аспекты, методические подходы и практика реализации / Е. Б. Виноградова, Н. В. Иванова, И. Н. Томшинская [и др.], 2017. - 126 с. - Текст : непосредственный.Кривцов А.М. Механика дискретных сред. Переходные тепловые процессы в гармонических кристаллах : учебное пособие / А. М. Кривцов, В. А. Кузькин, 2017. - 93 с. - Текст : непосредственный.Ролле В.Е. Конструирование и расчет автомобилей и тракторов. Эскизное проектирование ходовой части автомобиля / В. Е. Ролле, А. Г. Семенов, 2017. - 687 с. - Текст : непосредственный.Материаловедение : учебное пособие / М. А. Жукова, Н. Б. Кириллов, А. П. Петкова, М. В. Яковицкая ; ред. Н. Б. Кириллова, 2017. - 114 с. - Текст : электронный.Тутыгин В.С. Цифровая обработка сигналов : монография / В. С. Тутыгин, 2017. - 164 с. - Текст : непосредственный.Писарев О.А. Фракционирование биологически активных веществ. Аналитические и препаративные методы : учебное пособие / О. А. Писарев, И. В. Полякова, 2017. - 191 с. - Текст : непосредственный.Инженерное обеспечение строительства. Геодезия : учебное пособие / Н. Д. Беляев, А. В. Ковязин, А. А. Кузин [и др.], 2017. - 54 с. - Текст : непосредственный.Глухов В.В. Организационное поведение : учебное пособие / В. В. Глухов, А. А. Яковлев, 2017. - 484 с. - Текст : непосредственный.Биофизические и биохимические методы экспериментальной нейробиологии: современные представления : учебное пособие / Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Ч. 1 / Е. И. Пчицкая [и др.], 2017. - 70 с. - Текст : непосредственный.Андреева В.Д. Рентгенография и электронная микроскопия. Электронная микроскопия материалов : учебное пособие / В. Д. Андреева, И. И. Горшков, 2017. - 142 с. - Текст : непосредственный.Бухарцев В.Н. Водосливная плотина в составе низконапорного транспортно-энергетического гидроузла : учебное пособие / В. Н. Бухарцев, И. Того, И. Е. Фролова, 2017. - 69 с. - Текст : непосредственный.Виноградов Е.Л. Физические основы контактной и бесконтактной печати / Е. Л. Виноградов, В. В. Ваганов, 2017. - 244 с. - Текст : непосредственный.Положинцев Б.И. Теория вероятностей и математическая статистика. Вероятностные модели, основы статистического анализа данных : учебное пособие / Б. И. Положинцев, 2018. - 205 с. - Текст : непосредственный.Радаев А.Е. Имитационное моделирование производственных систем : учебное пособие / А. Е. Радаев, В. В. Кобзев, 2017. - 167 с. - Текст : непосредственный.Худорожков С.И. Теория и системы автоматического управления : учебное пособие / С. И. Худорожков, 2018. - 217 с. - Текст : непосредственный.Паромов В.В. Физические основы прочности и пластичности металлов. Изучение текстур металлических листов методом прямых полюсных фигур : учебное пособие / В. В. Паромов, 2018. - 36 с. - Текст : непосредственный.Ролле В.Е. Теория движения наземных транспортных средств. Расчет плавности хода гусеничных машин / В. Е. Ролле, А. Г. Семенов, 2018. - 151 с. - Текст : непосредственный.Радаев А.Е. Организация производства на предприятиях отрасли. Имитационное моделирование производственных систем. Лабораторный практикум : учебное пособие. Ч. 1, 2018. - 157 с. - Текст : непосредственный.Виноградов Е.Л. Оборудование и технологии печати. Прогрессивные полиграфические технологии : учебное пособие / Е. Л. Виноградов, В. В. Ваганов, 2018. - 94 с. - Текст : непосредственный.Сениченков Ю.Б. Математическое моделирование сложных динамических систем : учебное пособие / Ю. Б. Сениченков, Н. Б. Ампилова, Е. Л. Тимофеев, 2018. - 108 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыFrey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.Запороцкова И.В. Строение и свойства композиционных углеродо- и боросодержащих наноматериалов : монография / И. В. Запороцкова, 2015. - 437 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Olszyna A.R. E-BN.otrzymywanie i wlasciwosci / A. R. Olszyna, 1996. - 94 s. - Текст : непосредственный.Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Лежава Д.Т. Реальная структура и физико-механические свойства карбида бора : специальность 01.02.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Д. Т. Лежава, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКуликов И.Н. Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : 05.13.06 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (машиностроение): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. Н. Куликов, 2019. - 17 с. - Текст : непосредственный.Колесников Н.Н. Физико-химические и технологические основы получения кристаллов халькогенидов металлов, содержащих летучие компоненты : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Н. Н. Колесников, 2017. - 50 с. - Текст : непосредственный.Беспалов А.В. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Беспалов, 2010. - 18 с. - Текст : непосредственный.Та Динь Хиен.Энергетический спектр электронов и особенности оптического поглощения одно- и многослойных структур на основе графена и нитрида бора, допированных атомами щелочных металлов : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / Та Динь Хиен, 2014. - 20 с. - Текст : непосредственный.Кичигин В.В. Моделирование и исследование технологии получения мультикристаллического кремния в индукционной печи с холодным тиглем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.09.10 / В. В. Кичигин, 2011. - 18 с. - Текст : непосредственный.Милахин, Денис Сергеевич. Особенности формирования AlN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии : специальность 01.04.10 - физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Милахин Денис Сергеевич, 2021. - 32 с. - Текст : непосредственный.Барсуков, Юрий Владимирович. Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов : 01.04.08 - физика плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Барсуков Юрий Владимирович, 2022. - 24 с. - Текст : непосредственный.Аверченко, Александр Владимирович. Создание 2D-полупроводниковых структур методом прямого лазерного синтеза : специальность: 1.3.8. Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Аверченко Александр Владимирович, 2024. - 30 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽