Приложение
для AndroidПолное описание
Содержание:
| УДК | |
| 621.373 |
| ББК | |
| 32.847 | |
| 34.65я73 |
| РУБ | |
| 11.04.04 | |
| 11.04.03 | |
| 28.04.01 |
Рубрики:
Радиоэлектроника. Автоматика. Связь
Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНАЯ ПЛАНАРИЗАЦИЯ -- ЛАЗЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- МИКРОТЕХНОЛОГИЯ -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ПЛЕНКА ВОЛЬФРАМА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПОВЕРХНОСТЬ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС -- УЧЕБНИК ДЛЯ ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ -- ФОТОННАЯ ОБРАБОТКА -- ФОТОННО-СТИМУЛИРОВАННЫЙ ПРОЦЕСС -- ФОТОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
Аннотация: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация. а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Доп. точки доступа:
Житяев, И.Л.
Житяев, Игорь Леонидович
Электронная библиотечная система ZNANIUM
https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=500090
Держатели документа:
ЭБС Znanium : 127282, г. Москва, ул. Полярная, д.31В, стр.1 (Шифр в БД-источнике (ZNANIUM): RU\infra-m\znanium\bibl\1020493)
Шифр в сводном ЭК: a78ff92766e78b4ef61e7d60bfb8e3c7
Житяев И.Л. Конструктивно-технологические решения изготовления наноразмерных автоэмиссионных катодов на основе пленок мультиграфена на карбиде кремния : специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. Л. Житяев, 2019. - 23 с. - Текст : непосредственный.Светличный, Александр Михайлович. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : Учебное пособие / А.М. Светличный, 2017. - 104 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Светличный, Александр Михайлович. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : Учебное пособие / А.М. Светличный, 2018. - 96 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.
Глотов, Анатолий Филиппович. Начала математического моделирования в электронике : Учебное пособие / А.Ф. Глотов, 2017. - 363 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Широков, Игорь Борисович. Исследования характеристик каналов связи : Монография / И.Б. Широков, 2022. - 247 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Лебедев, Сергей Константинович. Кинематика и динамика электромехатронных систем в робототехнике : Учебное пособие / С.К. Лебедев, 2021. - 352 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Яковлев, Альберт Николаевич. Цифровая фильтрация и синтез цифровых фильтров : Учебное пособие / А.Н. Яковлев, 2012. - 64 с. - Текст : электронный.Сажнев, Александр Михайлович. Электропреобразовательные устройства радиоэлектронных систем : Учебное пособие / А.М. Сажнев, 2012. - 220 с. - Текст : электронный.Киселев, Алексей Васильевич. Имитация отражений от распределенных радиолокационных объектов на основе некогерентных геометрических моделей : Монография / А.В. Киселев, 2019. - 211 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Киселев, Алексей Васильевич. Радиопомехи и помехоустойчивый прием : Учебное пособие / А.В. Киселев, 2019. - 88 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Васильев, Владислав Юрьевич. Современное производство изделий микроэлектроники : Учебное пособие / В.Ю. Васильев, 2019. - 88 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Нос, Олег Викторович. Теория автоматического управления. Теория управления особыми линейными и нелинейными непрерывными системами : Учебное пособие / О.В. Нос, 2019. - 166 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Васильев, Владислав Юрьевич. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : Учебное пособие / В.Ю. Васильев, 2019. - 107 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Букатов, Александр Алексеевич. Методы и средства интеграции независимых баз данных в распределенных телекоммуникационных сетях : Монография / А.А. Букатов, 2013. - 160 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Востриков, Анатолий Сергеевич. Задача синтеза в теории регулирования : Учебное пособие / А.С. Востриков, 2011. - 104 с. - Текст : электронный.Каменская, Анна Викторовна. Основы технологии материалов микроэлектроники : Учебно-методическая литература / А.В. Каменская, 2010. - 96 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Минаев И.Г. Свободно программируемые устройства в автоматизированных системах управления : Учебное пособие / И.Г. Минаев, 2016. - 168 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Земляков, Виктор Леонидович. Электроакустические пьезопреобразователи и антенные решетки : Учебное пособие / В.Л. Земляков, 2017. - 88 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Светличный, Александр Михайлович. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : Учебное пособие / А.М. Светличный, 2017. - 104 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Зикий, Анатолий Николаевич. Стабильность частоты генераторов СВЧ : Учебное пособие / А.Н. Зикий, 2017. - 138 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Федосов, Валентин Петрович. Радиотехнические цепи и сигналы : Учебное пособие / В.П. Федосов, 2017. - 282 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Семенихина, Диана Викторовна. Теоретические основы радиоэлектронной борьбы. Радиомаскировка : Учебное пособие / Д.В. Семенихина, 2017. - 130 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.Усенко, Ольга Александровна. Приложения теории информации и криптографии в радиотехнических системах : Учебное пособие / О.А. Усенко, 2017. - 170 с. (Введено оглавление). - Текст : электронный.
Показать все результатыАзаматов З.Т. Дефекты в материалах квантовой электроники / З. Т. Азаматов, З. Т. Азаматов, П. А. Арсеньев, Х. С. Багдасаров ; Ред. М. Т. Шпак, 1991. - 259 c. - Текст : непосредственный.Чернобаев В.Г. Генераторы хаотических колебаний на основе систем фазовой синхронизации : специальность 05.12.04 "Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения " : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. Г. Чернобаев, 2001. - 19 с. - Текст : непосредственный.Морозов В.Н. Подавление флуктуации мощности инжекционных лазеров с помощью отрицательной обратной связи / В. Н. Морозов, Р. Ф. Набиев, В. Р. Шидловский, 1989. - 42 с. - Текст : непосредственный.Лазерная и оптико-электронная техника : сборник научных трудов / Белорусский ун-т им. В. И. Ленина (Минск), 1989. - 215 c. - Текст : непосредственный.Крылов Е.Т. Физико-математические основы работы квантовых электронных приборов / Е. Т. Крылов, О. П. Нечесов, 1989. - 65 c. - Текст : непосредственный.Суржиков С.Т. Математическое моделирование лазерных волн медленного горения / С. Т. Суржиков, 1998. - 55 с. - Текст : непосредственный.Дудкин В.А. Сероуглеродные пламена как активные среды химических СО лазеров / В. А. Дудкин, 1999. - 67 с. - Текст : непосредственный.Лазерная физика : Сб. / С.-Петербург.гос.ун-т и др. Вып. 7, 1994. - 75 с. - Текст : непосредственный.Орловский Ю.В. Наносекундная безызлучательная релаксация энергии электронного возбуждения в лазерных кристаллах, активированных РЗ ионами : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Ю. В. Орловский, 1998. - 28 с. - Текст : непосредственный.Выход излучения из сферической однородной плазмы - аналитические модели расчета спектральной яркости излучения плазменных объектов различной конфигурации / Д. В. Баришпольцев, С. Ю. Гуськов, Е. М. Иванов [и др.], 2006. - 27 с. - Текст : непосредственный.Вахдани Могаддам Мехран.Динамика формирования нелинейного отклика и "обучение" самонакачивающихся ОВФ зеркал: петлевое и двойное ОВФ зеркала на титанате бария : специальность 01.04.21 "Лазерная физика" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Вахдани Могаддам Мехран, 2005. - 18 с. - Текст : непосредственный.Легкий В.Н. Малогабаритные генераторы накачки полупроводниковых лазеров / В. Н. Легкий, И. Д. Миценко, Б. В. Галун, 1990. - 215 с. - Текст : непосредственный.Скобелев С.А. Нелинейная динамика предельно коротких оптических импульсов : специальность 01.04.21 "Лазерная физика" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. А. Скобелев, 2007. - 30 с. - Текст : непосредственный.JAXA research and development report / Japan aerospace exploration agency (Tokyo). RR-06-014E : High quality InxGa1-xAs (X:0.1-0.13) platy crystal growth for semiconductor laser substrates / K. Kinoshita [et al.], 2007. - 7 p. - Текст : непосредственный.Ефремова Е.В. Твердотельные источники хаоса микроволнового диапазона на основе автоколебательных систем с сосредоточенными параметрами : специальность 01.04.03 "Радиофизика" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Е. В. Ефремова, 2008. - 30 с. - Текст : непосредственный.Гречин С.С. Высокоэффективное нелинейно-оптическое преобразование частоты излучения фемтосекундного лазера на хром-форстерите в видимый и средний ИК диапазоны : специальность 01.04.21 "Лазерная физика" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. С. Гречин, 2006. - 19 с. - Текст : непосредственный.Кадиева П.Г. Исследование влияния импульсно-периодической ионизации на характеристики непрерывного технологического СO -лазера с самостоятельным поперечным разрядом : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Г. Кадиева, 2002. - 18 с. - Текст : непосредственный.NATO science series. Sub-ser.II, Mathematics, physics and chemistry. Vol. 126 : Physics of laser crystals : Proc. of the NATO advanced research workshop on physics of laser crystals, Kharkiv-Stary Saltov, Ukraine, 26 Aug. - 2 Sept., 2002 / NATO advanced research workshop on physics of laser crystals (2002; Kharkiv), 2003. - XIV,255 p. p. - Текст : непосредственный.Ткачев А.Н. Кинетические модели релаксации плазмы и динамика многих частиц в лазерной физике : специальность 01.04.21 "Лазерная физика" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-техн. наук / А. Н. Ткачев, 2002. - 47 с. - Текст : непосредственный.Прохождение оптического излучения через лазерно-активную жидкость, возбужденную осколками деления / А. Ф. Добровольский, В. В. Калинин, Е. А. Серегина, 1996. - 12 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПросмотр издания ЭБС ZNANIUM
или
Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация