Полное описание

Каменская, Анна Викторовна. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическая литература / А.В. Каменская. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2010. - 96 с. - URL: https://znanium.com/catalog/document?id=64968 (дата обращения: 12.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС ZNANIUM. - ISBN 978-5-7782-1420-0. - Текст : электронный.
Содержание:

	УДК
	621.38

	ББК
	32.85

	РУБ
	11.04.04
	11.03.04

Рубрики:
Радиоэлектроника. Автоматика. Связь

Кл.слова (ненормированные): ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛА -- МАТЕРИАЛ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ СОЕДИНЕНИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛА
Аннотация: В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника, 210108 - «Микросистемная техника».
Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника» 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника 210108 - «Микросистемная техника».

Электронная библиотечная система ZNANIUM

Держатели документа:
ЭБС Znanium : 127282, г. Москва, ул. Полярная, д.31В, стр.1 (Шифр в БД-источнике (ZNANIUM): RU\infra-m\znanium\bibl\546218)

Шифр в сводном ЭК: 0ef78cb3201ab29abf8fcf86914c9fb6

Просмотр издания ЭБС ZNANIUM