• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Прохоцкий, Ю. М. Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии : дис.в форме науч.докл..д-ра техн.наук:05.27.01 / Ю. М. Прохоцкий. - Киев, 1991. - 33 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: АН Украины,Ин-т кибернетики им.В.М.Глушкова. Библиогр.: с. 31-33(27 назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.41621.3.049.75.002:776(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-71)

    Шифр в сводном ЭК: 8b22bc515b007f7a41bf73d5e963554c



    Заказ фрагмента документа ₽