• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Милахин, Денис Сергеевич. Особенности формирования AlN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии : специальность 01.04.10 - физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Милахин Денис Сергеевич ; Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук. - 2021. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 29-32 (32 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СЛОИ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ РЕАКЦИИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова (Новосибирск)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар21-4287)

    Шифр в сводном ЭК: 4a667fc92aa635d135eb4b0c8af49f31



    Заказ фрагмента документа ₽