• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Пленки нитридов / А. А. Козин, А. В. Кочин, А. В. Рудаков [и др.]; под редакцией В. И. Шаповалова ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2020. - 269 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 190-269 (847 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7629-2776-5. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    31.17.15546.171.1.03:539.216.2

    Рубрики:
    Нитриды, пленки

    Кл.слова (ненормированные): ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ПЕРЕХОДНЫЕ МЕТАЛЛЫ -- ПЛЕНКИ ОДИНОЧНЫХ НИТРИДОВ -- ПЛЕНКИ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ -- СИНТЕЗ ПЛЕНОК
    Аннотация: Выполнен анализ публикаций, посвященных пленкам нитридов переходных металлов, твердым растворам и гетероструктурам на их основе. Описаны свойства пленок и пленочных структур, привлекающих наибольшее внимание специалистов. Указаны области их применения. Издание предназначено научным работникам и инженерам, чья работа связана с осаждением пленок, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
    Доп. точки доступа:
    Козин, Александр Александрович
    Кочин, Алексей Валерьевич
    Рудаков, Александр Васильевич
    Шаповалов, Виктор Иванович
    Шестаков, Дмитрий Сергеевич
    Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-20/90451)

    Шифр в сводном ЭК: de8e5f69a9592470006c6a682bb21563



    Заказ фрагмента документа ₽