• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Сарач, Ольга Борисовна. Основы технологии электронной компонентной базы : лабораторный практикум по дисциплине "Основы технологии электронной компонентной базы" для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника" / О. Б. Сарач, Д. А. Зезин ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МЭИ". - Москва : Изд-во МЭИ, 2021. - 55 с. : ил. - Библиогр. в конце лаб. работ. - 50 экз. - ISBN 978-5-7046-2388-5. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.13.17621.3.049.77-047.84(076.5)

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство -- Учебники и пособия

    Кл.слова (ненормированные): БИПОЛЯРНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- КРЕМНИЙ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ -- ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
    Аннотация: Содержит необходимый материал для проведения лабораторных занятий, посвященных изучению основ технологии электронной компонентной базы. Предназначено для студентов ИРЭ МЭИ, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника". Продолжительность лабораторных занятий - 4 часа.
    Доп. точки доступа:
    Зезин, Денис Анатольевич
    "МЭИ", национальный исследовательский университет (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-21/88045)

    Шифр в сводном ЭК: 0b2a1a4e3b735997ea76d11c13f06092



    Заказ фрагмента документа ₽