Приложение
для AndroidПолное описание
Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии изделий электроники и наноэлектроники : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, А. А. Никитин, А. А. Семенов ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2020. - 31 с. : ил. - (Учебно-методическое пособие). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 23. - 60 экз. - ISBN 978-5-7629-2656-0. - Текст (визуальный) : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.384-047.84-047.56 | |
| 47.13.07 | 621.384-022.532-047.84-047.56 |
Рубрики:
Электронные приборы -- Производство -- Проектирование
Наноэлектронные устройства -- Производство -- Проектирование
Кл.слова (ненормированные): ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОКИСЛЯЕМОСТЬ МЕТАЛЛОВ -- ОКСИДНЫЕ КАТОДЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА -- ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Аннотация: Рассматривает методику термодинамического анализа процесса обработки оксидных катодов и окисляемости металлов, входящих в состав основания катода, термодинамические расчеты газотранспортных процессов осаждения слоев металлов и полупроводниковых материалов, методику расчета диффузионных процессов при двухстадийном легировании полупроводниковых материалов и формировании p-n-переходов.
Доп. точки доступа:
Зубко, Светлана Петровна
Медведева, Наталья Юрьевна
Никитин, Андрей Александрович
Семенов, Александр Анатольевич
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-20/87702)
Шифр в сводном ЭК: 391e1c377d8626ea55e08a043215e03c
Компьютерные технологии в разработке устройств радиофотоники : учебное пособие / В. В. Витько, В. В. Перепеловский, Н. И. Михайлов, А. А. Семенов, 2020. - 81 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии изделий электроники и наноэлектроники : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, А. А. Никитин, А. А. Семенов, 2020. - 31 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Приборы и устройства функциональной электроники и радиофотоники : учебное пособие / А. Б. Устинов, И. А. Рябцев, А. А. Никитин, Б. А. Калиникос, 2021. - 108 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Микроволновая твердотельная электроника : учебное пособие / А. А. Никитин, А. В. Дроздовский, А. А. Ершов, М. А. Мишнев, 2021. - 77, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Электродинамика : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, В. В. Витько [и др.], 2021. - 31, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Моделирование устройств СВЧ-электроники и радиофотоники : учебное пособие / А. Б. Устинов, Р. В. Гапончик, И. Ю. Таценко [и др.], 2022. - 36, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Витько, Виталий Валерьевич. Теория кольцевых радиофотонных резонаторов для разработки перестраиваемых оптоэлектронных СВЧ-генераторов / В. В. Витько, А. А. Никитин, А. Б. Устинов, 2022. - 124, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Распространение электромагнитных волн в неограниченном пространстве : конспект лекций: учебное пособие / С. П. Зубко, А. В. Дроздовский, В. В. Витько [и др.], 2022. - 94 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Электродинамика : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, А. Г. Алтынников, В. В. Витько [и др.], 2023. - 35, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Электромагнитные волны в направляющих системах : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, В. В. Витько, А. Г. Алтынников [и др.], 2023. - 31 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Технология элементов электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие / Е. Н. Сапего, А. А. Никитин, А. В. Тумаркин [и др.], 2024. - 31 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Паршукова Г.Б. Основы компьютерной графики в библиотечной деятельности / Г. Б. Паршукова, 2006. - 103 с. - Текст : непосредственный.Кустов Т.В. Информационные системы для мониторинга окружающей среды : выставочные материалы / Т. В. Кустов, А. С. Ковалевская, 2016. - 47 с. - Текст : непосредственный.Рентгеновский контроль и диагностика : учебное пособие / А. Ю. Грязнов, Н. Н. Потрахов, К. К. Жамова, Н. Е. Староверов, 2016. - 35 с. - Текст : непосредственный.Нисковский А.В. Проектирование и администрирование сетей : учебное пособие / А. В. Нисковский, А. А. Андреева, 2016. - 54 с. - Текст : непосредственный.Воробьев С.В. Основные понятия, положения и уравнения механики твердого деформированного тела : учебное пособие / С. В. Воробьев, О. П. Кормилицын, 2018. - 31, [1] с. - Текст : непосредственный.Решение типовых задач инженерной графики способом перемены плоскостей проекций : учебно-методическое пособие / А. И. Лысков [и др.], 2018. - 36 с. - Текст : непосредственный.Иванцова Е.А. Методы оценки загрязнений окружающей среды : учебно-методическое пособие / Е. А. Иванцова, Н. В. Герман, А. А. Тихонова, 2018. - 85 с. - Текст : непосредственный.Козлова Л.П. Электрический привод : учебно-методическое пособие / Л. П. Козлова, В. В. Королев, И. А. Пименова, 2018. - 58 с. - Текст : непосредственный.Программирование : учебно-методическое пособие / К. В. Кринкин [и др.], 2018. - 34 с. - Текст : непосредственный.Сидельников В.В. Средства взаимодействия процессов в операционных системах : учебно-методическое пособие / В. В. Сидельников, В. В. Широков, 2018. - 33, [3] с. - Текст : непосредственный.Узлова И.В. Правоведение. Трудовое право : учебно-методическое пособие / И. В. Узлова, С. В. Максина, 2018. - 31 с. - Текст : непосредственный.Физика конденсированного состояния : учебно-методическое пособие / В. П. Афанасьев, А. М. Василевский, К. Б. Варнашев [и др.], 2018. - 94 с. - Текст : непосредственный.Дроздовский А.В. Микроволновая техника и измерения : учебно-методическое пособие / А. В. Дроздовский, Н. Г. Ковшиков, 2018. - 31 с. - Текст : непосредственный.Анализ и интерпретация данных : учебно-методическое пособие / В. В. Геппенер, Д. М. Клионский, О. В. Мандрикова, Д. С. Будчан, 2018. - 33 с. - Текст : непосредственный.Берленко Т.А. Разработка геоконтекстных сервисов на платформе Geo2Tag : учебно-методическое пособие / Т. А. Берленко, М. М. Заславский, К. В. Кринкин, 2016. - 31 с. - Текст : непосредственный.Михайлов Ю.И. Моделирование бизнес-процессов : учебно-методическое пособие / Ю. И. Михайлов, В. П. Семенов, 2018. - 39 с. - Текст : непосредственный.Доброскок Н.А. Судовые автоматизированные приводы : учебно-методическое пособие / Н. А. Доброскок, 2018. - 31 с. - Текст : непосредственный.Белова Е.Ю. Распределенные программные системы и технологии : учебно-методическое пособие / Е. Ю. Белова, 2018. - 47 с. - Текст : непосредственный.Амбросовский В.М. Случайные сигналы в судовых технических системах : учебно-методическое пособие / В. М. Амбросовский, Е. Б. Амбросовская, А. С. Слипченко, 2018. - 27, [1] с. - Текст : непосредственный.Амбросовский В.М. Анализ сигналов судовых систем в частотной области : учебно-методическое пособие / В. М. Амбросовский, Е. Б. Амбросовская, А. С. Слипченко, 2018. - 45, [1] с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽