• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Морозов, Иван Александрович. Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния : специальность 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук / Морозов Иван Александрович. - 2020. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    44.41.35621.383.51-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар20-5236)

    Шифр в сводном ЭК: 6919102a867f9641f337df4a040d718f



    Заказ фрагмента документа ₽