• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Gobel, H. Herstellung und Analyse kunstlicher Nano-/Mikrostrukturen mit der Rastersondenmikroskopie : Diss. / H.G@:obel. - Karlsruhe, 1996. - III,145 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5687). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.:с.134-145

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621-181.4(043)
    621.3.049.76(043)

    Рубрики:
    Миниатюрные изделия
    Микроэлектронные приборы

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5687)

    Шифр в сводном ЭК: 76e2d23919200ea4a03ea5faae761b08



    Заказ фрагмента документа ₽