• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Перинский, В. В. Наноразмерные ионно-легированные структуры арсенида галлия для твердотельных СВЧ устройств : учебное пособие по направлению "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах" / В. В. Перинский, И. В. Перинская, С. Г. Калганова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Российская академия естественных наук, Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю. А. - Саратов : СГТУ им. Гагарина Ю. А., 2019. - 122 с. : ил. - Библиогр.: с. 119-122 (56 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7433-3318-9. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.35.47621.382.029.6
    ББК
    22.3

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы СВЧ

    Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- КЛАСТЕРИЗАЦИЯ -- КОРРЕЛЯЦИЯ -- НАНОКОНСТРУИРОВАНИЕ -- ФИЗИКА
    Аннотация: Ионная имплантация арсенида галлия позволяет изготавливать наноразмерные локальные активные, резистивные и изолирующие области в монокристаллическом и эпитаксиальном арсениде галлия в промышленной установке ионного легирования, где осуществляется изготовление элементов ИС СВЧ. Учебное пособие посвящено разработке физических основ и технике ионно-лучевой технологии микроприборов сверхвысоких частот на арсениде галлия, особенностям применения ускоренных ионов серы, селена, гелия, водорода при создании наноразмерных активных, изолирующих областей в монокристаллическом арсениде галлия и его эпитаксиальных структурах; проблеме качества полупроводниковых структур арсенида галлия; роли процессов кластеризации в технологии ионного легирования и изоляции. Книга предназначена магистрантам, занимающимся исследованиями в области технологии полупроводников АIIIВV для твердотельной СВЧ микроэлектроники, а также студентам, обучающимся по направлению «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро-и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах» в соответствии с программой подготовки специалистов высшей квалификации для предприятий твердотельной СВЧ электроники.
    Доп. точки доступа:
    Перинская, И.В.
    Калганова, С.Г.
    Российская академия естественных наук (Москва)
    Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю. А.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/77813)

    Шифр в сводном ЭК: 40c068189d4a7021387da1103fa644ea



    Заказ фрагмента документа ₽