• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Мармалюк, А. А. Исследование и разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии нитрида галлия : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. А. Мармалюк. - М., 1998. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 21-24

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592-416.002(043)
    621.383.52.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-сф92)

    Шифр в сводном ЭК: 170c2ad875b5d0d159bf25dea5965cc8



    Заказ фрагмента документа ₽