Полное описание

РЭМ-изображение щелевидных субмикронных структур в кремнии / Ю.А.Новиков,А.В.Раков,А.Н.Симонов и др. - М. : [б. и.], 1991. - 26 с. : ил. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 26(1991)). - 150 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322(04)

Рубрики:
Кремний -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): ИССЛЕДОВАНИЕ -- КРЕМНИЙ -- МЕТОД
Доп. точки доступа:
Новиков, Ю.А.
Раков, А.В.
Симонов, А.Н.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/26(1991))

Шифр в сводном ЭК: 3e9a00d778902a3e0e5272aea9d52fb1

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽