Полное описание

Пашков, В. Ю. Исследование рассеяния ВЧ мощности в плазме SF в планарном диодном реакторе промышленного типа / В.Ю.Пашков,А.И.Иванов. - М. : [б. и.], 1995. - 17 c. : ил. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 13(1995)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.76.002(04)
31.15.29	66.088.023.004.17(04)

Рубрики:
Плазмохимические реакторы -- Производительность

Доп. точки доступа:
Иванов, А.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/13(1995))

Шифр в сводном ЭК: 78e0c92205250e5cff0b4af6dc73c0c8

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽