• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Белоусов, В. М. Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / В. М. Белоусов. - М., 1996. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 23-24(24назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77.002.5(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-3568)

    Шифр в сводном ЭК: f86e1ff94bd21648361d15ed3f0c4dff



    Заказ фрагмента документа ₽