• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Филин, С. А. Технология высокоэффективной очистки твердотельных микроэлектронных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. А. Филин. - М., 1992. - 20 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. Библиогр.: с. 19-20(16назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-05503)

    Шифр в сводном ЭК: e54cadd7e404e28d04148cfdfb9752b6



    Заказ фрагмента документа ₽