Полное описание

Структурные свойства пленок поликристаллического кремния после различных видов термообработки / В. В. Понарядов, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич [и др.]. - Текст : непосредственный // Радиационная физика твердого тела : тр. XXII Междунар. конф. (9-14 июля 2012 г., Севастополь). - М. : НИИ ПМТ, 2012. - С. 424-428.
ГРНТИ 29.19.16 + 47.03.13

Кл.слова (ненормированные): фосфор -- бор
Аннотация: Показано, что морфология поверхности и размер зерен поликристаллических пленок кремния, легированных бором и фосфором, зависят как от дозы и энергии внедряемой примеси, так и от вида последующей термической обработки. Наиболее значительный рост зерен наблюдается лишь при высоких дозах легирования фосфора на начальном этапе длительной термообработки, в то время как при быстрой термообработке, зависимости роста зерен и изменения морфологии поверхности пленок от дозы легирования и температуры термообработки практически не наблюдается.
Доп. точки доступа:
Понарядов, В.В.
Пилипенко, В.А.
Турцевич, А.С.
Шведов, С.В.
Горушко, В.А.
Петлицкая, Т.В.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -015343-165578)

Шифр в сводном ЭК: 502e14a51f41511128a4b753851e6d63