• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Элементы сверхвысоковакуумного технологического оборудования для нанотехнологий / Г. А. Вараксин, Н. В. Панов, Е. А. Тарасов, А. В. Щербаков. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2010 : тр. Междунар. науч.-практ. конф., 1-3 дек. 2010 г., Фрязино. - М., 2011. - С. 10-13.
    ГРНТИ 81.29.29

    Аннотация: Представлены оборудование и технологии, разработанные ФГУП СКБ ИРЭ РАН (Федеральным государственным унитарным предприятием Специальным конструкторским бюро института радиотехники и электроники Российской академии наук).
    Доп. точки доступа:
    Вараксин, Г.А.
    Панов, Н.В.
    Тарасов, Е.А.
    Щербаков, А.В.

    Экз-ры полностью aa198fe6663c35ff223b1bdb7221e0df


    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -069318-711353)

    Шифр в сводном ЭК: f2396f9910614c51ddd0dc62ee8a015c




    Заказ фрагмента документа ₽