• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Васютин, М. С. Влияния электронного облучения на зарядовое состояние наноразмерных диэлектрических пленок МДП-структур / М. С. Васютин, А. В. Романов. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2011. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - С. 109-113. - Библиогр.: 6 назв.
    ГРНТИ 47.09.31 + 29.19.21

    Кл.слова (ненормированные): диоксид кремния -- стекло
    Аннотация: Проведено исследование влияния низкоэнергетического электронного облучения на структуры металл - диэлектрик - полупроводник (МДП) с термическими плёнками SiO2, пассивированными фосфорно-силикатным стеклом.
    Доп. точки доступа:
    Романов, А.В.

    Экз-ры полностью 9835315c51fb8d0ce74075ae89c8e440
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -685350-479155)

    Шифр в сводном ЭК: 0ef9066680c483aad06cbeeb7dfe0b40




    Заказ фрагмента документа ₽