Полное описание

Данилина, Т. И. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : учеб.пособие / Т.И.Данилина,С.В.Смирнов. - Томск : [б. и.], 2000. - 140 с. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-86889-054-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники. Библиогр.:с.137-140 (42 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Смирнов, С.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-00/59688)

Шифр в сводном ЭК: 8f504e809af7ea912b06436770686ce2

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽