• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Фролова, Г. В. Автоматизация синтеза проектных решений при создании технологического оборудования микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07;05.13.12 / Г. В. Фролова. - М., 1993. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.Моск.гос.ин-т электронной техники(Техн.ун-т). Библиогр.: с.23-24(9назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77.002.5(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-03368)

    Шифр в сводном ЭК: 18c767890a7abbe3740ef65d520daeb6



    Заказ фрагмента документа ₽