• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Игнатьев, А. С. Электронная Оже-спектроскопия для исследования и контроля технологии СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.10 / А. С. Игнатьев. - М., 1993. - 45 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 35-45(76назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14.002:658.562

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-2524)

    Шифр в сводном ЭК: a13a0a122354417961652de9dfb4de00



    Заказ фрагмента документа ₽