Полное описание

International conference on advanced materials and processes for microelectronics (1st ; 1999 ; San Jose(Ca)). Papers from 1st international conference on advanced materials and processes for microelectronics, 15-18 March,1999 San Jose(Ca) / International conference on advanced materials and processes for microelectronics (1st ; 1999 ; San Jose(Ca)) ; Сост.: J. H. Givens, T. S. Cale. - New York : [s. n.], 1999. - 1897-2395 p. p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B., ISSN 0734-211X ; 1999,Vol.17,N 5). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ в конце кн.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.3(063)
47.09	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Givens, J.H.\сост.\
Cale, T.S.\сост.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): V8879/1999,Vol.17,N 5)

Шифр в сводном ЭК: 1e150da5debd0d90ce6f002c1521fc87