• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Перинская, И. В. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.09.10 / И. В. Перинская. - 2010. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77.029.6-047.84(043)
    47.01.97621.3.049.76:620.197(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-21536)

    Шифр в сводном ЭК: e6d7453e143053631b929e2eb4b3264b



    Заказ фрагмента документа ₽