• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Савчук, С. А. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:02.00.02 / С. А. Савчук. - М., 1991. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Гос.н.-и. и проект.ин-т редкометал.пром-сти"Гиредмет". Библиогр.: с. 17(5назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.2(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-8329)

    Шифр в сводном ЭК: a368493c20059bc26e8735c8e1165b99



    Заказ фрагмента документа ₽