• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Мозалев, А. М. Исследование электрохимических и плазмохимических процессов обработки слоев алюминия,тантала и их анодных оксидов при создании планарной многоуровневой металлизации СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. М. Мозалев. - Минск, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Минский радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 16-18(23 назв.).

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84:621.793(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-08)

    Шифр в сводном ЭК: 716b012c6012d7b92b4f6df4c0c3cdae



    Заказ фрагмента документа ₽