• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Овчинников, В. А. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / В. А. Овчинников. - 2009. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 29-30 (17 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.382-047.84(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-1250)

    Шифр в сводном ЭК: 8dd34c88e2ca005e1d6d3461e3b7e370



    Заказ фрагмента документа ₽