Полное описание
> Овчинников, В. А. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / В. А. Овчинников. - 2009. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 29-30 (17 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.382-047.84(043)
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-1250)>
Шифр в сводном ЭК: 8dd34c88e2ca005e1d6d3461e3b7e370
Овчинников В.А. Метод автоматизированного проектирования ударопрочных автомобильных конструкций : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)", 05.05.03 "Колесные и гусеничные машины" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Овчинников, 2007. - 16 с. - Текст : непосредственный. Нугманов З.Х. Численный метод расчета обтекания профиля вязким несжимаемым потоком / З. Х. Нугманов, В. А. Овчинников, 1993. - 140 c. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
История начального и среднего профессионального образования Кузбасса: металлургия и химическая промышленность : монография / А. В. Блинов, А. Н. Ермолаев, А. А. Зеленин, В. А. Овчинников; ответственный редактор Е. Л. Руднева, 2018. - 133 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Реакционная способность напряженных олефинов в реакции с озоном : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / В. А. Овчинников, 2011. - 24 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Связь оптических характеристик порошкообразных взрывчатых веществ с их чувствительностью к лазерному воздействию : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.17 / В. А. Овчинников, 2015. - 20 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Алгоритмизация комбинаторно-оптимизационных задач при проектировании ЭВМ и систем : Учебник / В.А.Овчинников, 2001. - 287 с. - Текст : непосредственный. Устройство надводного корабля : Учеб. пособие / Е.В.Бондаренко,В.А.Овчинников,А.В.Сопов,О.В.Чебыкин, 1994. - 125 c. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Совершенствование конструктивно-технологических параметров дискового высеивающего аппарата для высева мелкосеменных культур (на примере люцерны) : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.20.01 / В. А. Овчинников, 2007. - 16 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Графы в задачах анализа и синтеза структур сложных систем / В. А. Овчинников, 2014. - 423 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Модели и методы дискретной оптимизации. Модули 1 и 2 : учебник / В. А. Овчинников, 2019. - 277 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Формирование экономического механизма управления муниципальными образованиями в условиях кризиса : автореф. дис. .. канд. экон. наук: 08.00.05 / В. А. Овчинников, 2006. - 21 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Разработка физико-химических основ получения пятикомпонентных твердых растворов InAlGaAsSb в поле температурного градиента : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. А. Овчинников, 1994. - 13 с. - Текст : непосредственный. Техника геодезических вычислений и программирование : Учеб. пособие для студентов 1-П курсов вспех спец. / Ю.И.Маркузе,В.В.Голубев,Д.В.Окунев,В.А.Овчинников, 1990. - 68 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Математическое моделирование аэродинамических процессов и тепловой защиты гиперзвуковых летательных аппаратов : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.02.05 / В. А. Овчинников, 2018. - 26 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / В. А. Овчинников, 2009. - 30 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Автоматизация проектирования и технология производства печатных плат : учеб. пособие / В. А. Овчинников, А. Н. Васильев, В. В. Лебедев, 2009. - 232 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Номоконова Н.Н. Система контроля и анализа технических свойств интегральных элементов и устройств вычислительной техники по многоуровневой модели информативных параметров : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. Н. Номоконова, 2010. - 40 с. - Текст : непосредственный. Кравченко А.А. Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках / А. А. Кравченко, 2012. - 25 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Гусев Е.Ю. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Е. Ю. Гусев, 2009. - 20 с. - Текст : непосредственный. Хлызов В.А. Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.14 / В. А. Хлызов, 2012. - 19 с. - Текст : непосредственный. Шатунов В.В. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.08 / В. В. Шатунов, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный. Васев А.В. Реконструкция поверхности GaAs(001) и их влияние на морфологию слоев при МЛЭ и вакуумном отжиге : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. В. Васев, 2009. - 18 с. - Текст : непосредственный. Никулин Ю.В. Модификация структурных и магнитных свойств тонких пленок ферромагнитных металлов, наносимых на аморфные и монокристаллические подложки для приборов магнитоэлектроники : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 01.04.04, 05.27.01 / Ю. В. Никулин, 2014. - 23 с. - Текст : непосредственный. Шумилов А.С. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : автореф. дис. .. канд. фз.-мат. наук: 05.27.01 / А. С. Шумилов, 2009. - 25 с. - Текст : непосредственный. Овчинников В.А. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / В. А. Овчинников, 2009. - 30 с. - Текст : непосредственный. Зарубина О.Н. Межфазные превращения в системах AIIIBV-H2O и формирование поверхности полупроводниковых соединений в жидких средах : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 02.00.04 / О. Н. Зарубина, 2013. - 21 с. - Текст : непосредственный. Заиченко, Александр Николаевич. Физико-технологические основы термомиграционного легирования микрообластей в объеме кремния акцепторными примесями : специальность 2.2.3 - Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Заиченко Александр Николаевич, 2023. - 23 с. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽