• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Марахтанов, М. К. Магнетронные системы ионного распыления. Основы теории и расчета : учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ион. распыления" / М.К.Марахтанов;Под ред. С. Д. Гришина. - М. : Изд-во МГТУ, 1990. - 76 c. : ил. - 300 экз. - ISBN 5-7038-0291-1. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.:Гос. ком. СССР по нар. образованию; Под ред. С. Д. Гришина. Библиогр.: с. 74-75 (31 назв.)

    ГРНТИ УДК
    55.22.19621.793.184.06

    Рубрики:
    Металлизаторы вакуумные
    Магнетронные распылительные системы

    Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНЫЙ МЕТАЛЛИЗАТОР -- МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/75347)

    Шифр в сводном ЭК: f4456318a5433eb9a402a9c3bb7089cf



    Заказ фрагмента документа ₽