Полное описание
Polymers in microlithography: Materials and processes : developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis. - Washington : [s. n.], 1989. - XII, 449 p. 449 p. : ill. - (ACS symposium series / Amer.chem.soc., ISSN 0097-6156 ; 412). - ISBN 0-8412-1701-7. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.09.51 621.3.049.77-047.84:776(062)
Рубрики: Полимеры -- Применение в микроэлектронике -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): ПОЛИМЕР
Доп. точки доступа: Reichmanis, E.\ed.\
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/11010/412)
Шифр в сводном ЭК: 5de99b7f54174e110b19dc8ec31acfd1
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Materials for nonlinear optics:Chemical perspectives : Developed from a symp.at the 199th nat.meet.of the Amer.chem.soc.,Boston,Ma,Apr.22-27,1990 / American chemical society (Washington, DC), 1991. - XVI,750 p. p. - Текст : непосредственный. Liquid-crystalline polymers : Developed from a symp. sponsored by the Div. of polymer chemistry ..at the 198th nat. meet. of the Amer. chem. soc., Miami Beach, Sept. 10-15, 1989 / American chemical society (Washington, DC), Division of polymer chemistry, 1990. - 508 p. - Текст : непосредственный. Crystallization as a separations process : Developed from a symp. by the intern. chem. congress of pacific basin soc. Honolulu, Dec. 17-22, 1989 / Pacific basin society, 1990. - XI, 419 p. 419 p. - Текст : непосредственный. Supercritical fluid science and technology : Developed from symp.annu.meet., Washington, Nov.27- Dec.2, 1988 / American chemical society (Washington), 1989. - X,550 p. p. - Текст : непосредственный. Computer modeling of carbohydrate molecules : developed from a symp. at spons.by the ACS div.197th nat. meet. Dallas(Tx), Apr. 9-14, 1989 / American ceramic society (Washington, DC), 1990. - IX,406 p. p. - Текст : непосредственный. Zeolite synthesis : Developed from a symp. spons. by the Div. of colloid and surface chemistry at the 196th nat. meet. of the Amer. chem. soc., Los Angeles (Ca), Sept. 25-30, 1988 / American chemical society (Washington), 1989. - XIII, 649 p. 649 p. - Текст : непосредственный. Chemical sensors and microinstrumentation : Developed from a symp. spons. by the 196th nat. meet. of the Amer. chem. soc., Los Angeles (Ca), Sept. 25-30, 1988 / American chemical society (Washington), 1989. - XII, 410 p. 410 p. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лямин А.Н. Разработка и исследование наноструктурированных поверхностей полимеров для электроники и медицины / А. Н. Лямин, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 9(1513) : Зарубежные полимерные материалы для радиодеталей / И.А.Шентенкова,Н.И.Просвирова,Н.А.Нехороших, 1989. - 43 с. - Текст : непосредственный. Кан К.Н. Механическая прочность эпоксидной изоляции, 1973. - 151 с. - Текст : непосредственный. Соломещ О.А. Оптические и электрофизические свойства тонких пленок электроактивных полимеров(полифталидилиденариленов) : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / О. А. Соломещ, 1996. - 17 с. - Текст : непосредственный. Development of procedures for calculating stiffness and damping properties of elastomers in engineering applications / Darlow M.,Smalley A.J.,Darlow M.S.,Smalley A.J. Pt. 4 : Testing of elastomers under a rotating load, 1977. - VII,87 p. p. - Текст : непосредственный. Plastics additives handbook:Stabilizers,processing aids,plasticizers,fillers,reinforcements,colorants for thermoplastics / Ed.: R. Gachter, H. Muller, 1990. - 970 p. - Текст : непосредственный. Wurthner F.A. Darstellung und optische Eigenschaften Donor-Akzeptor-substituierter Oligothiophene / F. A. Wurthner, 1993. - 254 S. - Текст : непосредственный. Исакова Н.А. Методы исследования состава эластомеров, 1974. - 102 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Каплунов И.Я. Композиционные полимерные материалы для электрической изоляции. Технология получения и применение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 02.00.16 / И. Я. Каплунов, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Polymers for microelectronics : Science and technologyProc.of the intern.symp.on "Polymers for microelectronics-science and technology"(PME'89), Tokyo,Oct.29 - Nov.2,1989 / PME'89, 1990. - XXI,848 p. p. - Текст : непосредственный. Стерликова А.В. Светочувствительные композиции на основе полиаминов в процессах записи информации : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:02.00.04 / А. В. Стерликова, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / А. А. Жуков, 2003. - 52 с. - Текст : непосредственный. Шишов М.А. Самоорганизованные слои полианилина для применения в электронике : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / М. А. Шишов, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный. Soane D.S. Polymers in microelectronics: fundamentals and applications / D.S.Soane,Z.Martynenko, 1989. - XIV,308 p. p. - Текст : непосредственный. Мышковская Е.Н. Синтез и исследование свойств чередующихся сополимеров на основе производных циклопентадитиофена, флуорена и бензотиадизола : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.06 / Е. Н. Мышковская, 2011. - 23 с. - Текст : непосредственный. Жуков А.А. Метод получения и свойства малонапряженных толстых полиимидных покрытий и свободных пленок и технология элементов МЭУ на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. А. Жуков, 1997. - 24 с. - Текст : непосредственный. Антонов А.С. Исследования электрофизических свойств композитных материалов,содержащих ферромагнитные включения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.13 / А. С. Антонов, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный. Костяновский В.А. Исследование циклопентадитиофенсодержащих полимеров - материалов для органической электроники : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / В. А. Костяновский, 2012. - 18 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Microcircuit engineering 92 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani, 1993. - 500 p. - Текст : непосредственный. Microcircuit engineering 91 : Proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti, 1992. - XVII,582 p. p. - Текст : непосредственный. Mieroprocess'89 : Proc.of the 1989 intern.symp.on microprocess conf.,July 2-5, 1989 Kobe / Ed.: S. Namba, T. Kitayama, 1989. - 385 p. - Текст : непосредственный. Optical/laser microlithography II : Proc.of the meet.,1-3 March 1989,San Jose(Ca) / Ed. B. J. Lin, 1989. - VIII,572 p. p. - Текст : непосредственный. Труды научного совета. Т. 3(1) : Материалы научного семинара по теме: "Коррекция эффектов оптической близости в литографии", НИИМЭ, Москва, 30 января 2019 г. / председатель Г. Я. Красников, 2019. - 146 с. - Текст : непосредственный. Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagung,Munchen,14.Nov.1991, 1991. - 137 S. - Текст : непосредственный. Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : Proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek, 1989. - VII,206 p. p. - Текст : непосредственный. Maskentechnik fur Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht: Tagung Munchen, 8.Nov.1990 / VDI/VDE-Gas, Feinwerktechnik, 1990. - 155 S. - Текст : непосредственный. Третий всесоюзный семинар "Микролитография" : Тез. докл. / "Микролитография", всесоюзный семинар (3; 1990; Черноголовка), 1990. - 252 c. - Текст : непосредственный. Polymers in microlithography: Materials and processes : Developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis, 1989. - XII, 449 p. 449 p. - Текст : непосредственный. Dry processing for submicrometer lithography : Proc,of the meet., 12-13 Oct.1989, Santa Clara(Ca) / Alliot P.; ed. J. Bondur, ed. A. R. Reinberg, 1989. - VII, 307 p. 307 p. - Текст : непосредственный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
