Полное описание
> Курочка, А. С. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. С. Курочка. - 2013. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-24 (16 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.01.81 621.315.592.9-047.84(043)
Кл.слова (ненормированные): МДП-СТРУКТУРЫ -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ -- ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: Установление особенностей и возможности использования ионно-электронной эмиссии для неразрушающего контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления тонкопленочных гетерокомпозиций металл - диэлектрик - полупроводник.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-5226)>
Шифр в сводном ЭК: 61341b340193ee2a02cd5ad98b6f00c7
Диагностический комплекс для пространственно-временного анализа энергии и тока импульсных релятивистских пучков, 1991. - 11 с. - Текст : непосредственный. Тарасов И.А. Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / И. А. Тарасов, 2014. - 19 с. - Текст : непосредственный. Мишура Т.П. Метрология, стандартизация и сертификация в радиоприборостроении : учеб.-метод. пособие : в 2 ч. Ч. 1 : Метрология, 2012. - 123 с. - Текст : непосредственный. Малинский В.Д. Испытания на воздействие повышенных температур и влажности окружающей среды / В. Д. Малинский, 1990. - 56 с. - Текст : непосредственный. Балайшис П.А. Динамика качества радиоэлектронных устройств : монография / П. А. Балайшис, Д. Ю. Эйдукас, 1991. - 182 с. - Текст : непосредственный. Донец С.А. Разработка моделей и алгоритмов оценки конкурентоспособности радиоэлектронных средств на начальных этапах проектирования : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. А. Донец, 2004. - 17 с. - Текст : непосредственный. Литвинов Б.Я. Передача размера единицы электрического сопротивления и контроль изделий электронной техники / Б. Я. Литвинов, 2007. - 153 с. - Текст : непосредственный. Лопин А.В. Метод бесконтактной диагностики радиоэлектронных модулей на основе анализа их тепловых образов : специальность 05.12.04 "Радиотехника, в том числе системы и устройства телевидения " : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. В. Лопин, 2014. - 17 с. - Текст : непосредственный. Методы и средства обеспечения качества изделий в приборо- и радиоаппаратостроение : сборник научных трудов / Московский авиационный ин-т им. С. Орджоникидзе, 1991. - 86 с. - Текст : непосредственный. Савин В.О. Спектроскопия отраженных электронов и микротомография слоистых структур в растровой электронной микроскопии : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / В. О. Савин, 2002. - 15 с. - Текст : непосредственный. Тюлевин С.В. Экспертные оценки в управлении качеством электронных средств : выставочные материалы / С. В. Тюлевин, М. Н. Пиганов, 2015. - 118 с. - Текст : непосредственный. Ермолаев Ю.П. Конструкторско-технологические возможности повышения качества пленочных элементов : выставочные материалы / Ю. П. Ермолаев, И. К. Саттаров, 2001. - 147 с. - Текст : непосредственный. Застела М.Ю. Оценка значимости показателей качества электронных средств потребителями и производителями электронных изделий в рыночных условиях / М. Ю. Застела, С. М. Царев, Ю. П. Ермолаев, 2005. - 99 с. - Текст : непосредственный. Методы осуществления статистического контроля и анализа качества электронных средств / Л. И. Пономарев, В. В. Жаднов, А. А. Иофин, А. А. Артюхов, 2005. - 71 с. - Текст : непосредственный. Братов В.А. Измерение параметров и характеристик полупроводниковых приборов и интегральных схем / В. А. Братов, 1998. - 97 с. - Текст : непосредственный. Дрейзин В.Э. Управление качеством электронных средств : учебное пособие / В. Э. Дрейзин, А. В. Кочура, 2009. - 323 с. - Текст : непосредственный. Аристов О.В. Основы стандартизации и контроль качества в радиоэлектронике : выставочные материалы / О. В. Аристов, В. И. Шебанов, 1974. - 212 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Рожавская М.М. Синтез III-N микро- и наноструктур методом МОГФЭ на подложках сапфира и кремния : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / М. М. Рожавская, 2014. - 22 с. - Текст : непосредственный. Якименко А.Н. Физические основы инженерии радиационных дефектов в диодных и МДП структурах / А. Н. Якименко, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный. Кузубов С.В. Структурно-фазовые превращения на поверхности арсенидов галлия и индия в процессе взаимодействия с селеном / С. В. Кузубов, 2010. - 16 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Малий Л.В. Физико-химические процессы при нестационарном высокоэнергетическом синтезе селенида кадмия : специальность 02.00.04 - Физическая химия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Л. В. Малий, 2018. - 22 с. - Текст : непосредственный. Аксенов М.С. Исследование механизма пассивации поверхности InAs(III)A фторсодержащими анодными слоями : 01.04.10 - Физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / М. С. Аксенов, 2019. - 22 с. - Текст : непосредственный. Лагов П.Б. Повышение импульсно-частотных, тепловых и инжекционных характеристик биполярных кремниевых структур методом радиационно-термической обработки : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01 / П. Б. Лагов, 2017. - 40 с. - Текст : непосредственный. Кострюков В.Ф. Совместное воздействие хемостимуляторов на термооксидирование арсенида галлия : автореф. дис. .. д-ра хим. наук: 02.00.01 / В. Ф. Кострюков, 2011. - 31 с. - Текст : непосредственный. Новиков В.А. Исследование морфологии и электронных свойств поверхности пленок AIIIBV и контактов металл/AIIIBV методом атомно-силовой микроскопии : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. А. Новиков, 2010. - 18 с. - Текст : непосредственный. Ваганова Н.Т. Физико-химические аспекты формирования квантовых точек в системе InGaAs/GaAs методом мос-гидридной эпитаксии : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 05.37.06 / Н. Т. Ваганова, 2012. - 24 с. - Текст : непосредственный. Желаннов А.В. Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Желаннов, 2018. - 18 с. - Текст : непосредственный. Денисов С.А. Молекулярно-лучевая эпитаксия из сублимационного источника слоев кремния и гетероструктур SiGe/Si на сапфире : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / С. А. Денисов, 2012. - 20 с. - Текст : непосредственный. Васютин Д.С. Исследование зарядовых дефектов в структурах металл-диэлектрик-полупроводник в условиях сильнополевой туннельной инжекции : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 01.04.07 / Д. С. Васютин, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный. Румянцев А.В. Моделирование формирования микро- и наноструктур при распылении материала фокусированным ионным пучком : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. В. Румянцев, 2018. - 23 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽