Полное описание
Materials science forum : сборник. - Stafa-Zuerich : Trans tech publ., 19 - . - ISSN 0255-5476. - Текст : непосредственный. Vol. 573-574 : Rapid thermal processing and beyond: applications in semiconductor processing : select. papers from RTP specialists all over the world, Dornstadt, Germany / ed.: W. Lerch, J. Niess. - 2008. - XVI, 432 p. : ill. - Библиогр. в конце ст. Указ.: с. 429-432. - ISBN 978-0-87849-391-3
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.315.592-047.84(063)
Рубрики: Полупроводники -- Термическая обработка -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа: Lerch, W.\ed.\
Экз-ры полностью d4c76f513c99be5a73086c3bbfc6c02f Копия: Нет сведений об экземплярах Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/15078/573-574)
Шифр в сводном ЭК: d4c76f513c99be5a73086c3bbfc6c02f
Shallow impurities in semiconductors : материалы временных коллективов / Ed. G. Davies, 1990. - 476 p. - Текст : непосредственный. Nuclear fuel fabrication : материалы временных коллективов / Ed. C. Ganguly, 1989. - IX,438 p. p. - Текст : непосредственный. Preparation and properties of silicon nitride based materials / Ed.: D. A. Bonnell, T. Y. Tien, 1989. - VII,307 p. p. - Текст : непосредственный. Progress in powder metallurgy. Pt. 1 : Proceedings of the 2006 Powder metallurgy world congress & exhibition (PM 2006), held in Busan exhibition & Convention Center (BEXCO), Busan, Korea, Sept. 24-28, 2006 / Powder metallurgy world congress & exhibition (PM 2006) (2006; Busan), 2007. - XXXIV, 848 p. - Текст : непосредственный. Progress in light metals, aerospace materials and superconductors : 2006 BIMW. 2006 Beijing international materials week, Jun. 25-30, 2006, Beijing, China / Sponsored and organized by Chinese materials research society (C-MRS). Pt. 2 : Aluminium materials : 2006 Beijing international conference on aluminium materials (2006 BICAM), Jun. 25-30, 2006, Beijing, China / Beijing international conference on aluminium materials (2006; Beijing), 2007. - XXXIV, 605-1162 p. - Текст : непосредственный. Progress in light metals, aerospace materials and superconductors : 2006 BIMW. 2006 Beijing international materials week, Jun. 25-30, 2006, Beijing, China / Sponsored and organized by Chinese materials research society (C-MRS). Pt. 1 : Magnesium : second international conference on magnesium (ICM 2006) / International conference on magnesium (2nd; 2006; Beijing), 2007. - XVII, 604 p. - Текст : непосредственный. Materials science forum. Pt. 1, 1990. - 392 p. - Текст : непосредственный. Materials science forum. Pt. 2, 1990. - 393-778 p. p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Recrystallization'92 : Intern.conf.on recrystallization and related phenomena,San Sebastian,Aug.31-Sept.4,1992, 1993. - 724 p. - Текст : непосредственный. Grain boundary chemistry and intergranular fracture / ed. G. S. Was, ed. S. M. Bruemmer, 1989. - V,358 p. p. - Текст : непосредственный. Defects-recognition, imaging and physics in semiconductors XIV : selected, peer rev. papers from the 14th intern. conf. on defects-recognition, imaging and physics in semiconductors (DRIP-14), Sept. 25-29, 2011, Miyazaki, Jap. / International conference on defects-recognition, imaging and physics in semiconductors (14; 2011; Miyazaki), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Fatigue failure and fracture mechanics : sel., peer rev. papers from the conf. on XXIV symposium on fatigue failure and fracture mech., May 22-25, 2012, Bydgoszcz-Pieczyska, Pol. / Symposium on fatigue failure and fracture mechanics (24; 2012; Bydgoszcz-Pieczyska), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Advanced powder technology VIII : sel., peer rev. papers from the eighth Lat. Amer. conf. on powder technology, Nov. 6-9, 2011, Florianópolis, Brazil: in 2 vol. / Latin American conference on powder technology (8; 2011; Florianopolis), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Solid state phenomena. Vol. 145-146 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX : 9th Intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS) held in Bruges, Belgium, Sept. 22-24, 2008 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th; 2008; Bruges), 2009. - XVI, 400 p. - Текст : непосредственный. Solid state phenomena. Vol. 131-133 : Gettering and defect engineering in semiconductor technology XII-GADEST 2007 : proc. of the 12th Intern. autumn meet. EMFCSC, Erice, Italy, Oct. 14-19, 2007 / International autumn meeting "Gettering and defect engineering in semiconductor technology-GADEST 2007" (12th; 2007; Erice), 2008. - XV, 642 p. - Текст : непосредственный. Materials science forum. Vol. 573-574 : Rapid thermal processing and beyond: applications in semiconductor processing : select. papers from RTP specialists all over the world, Dornstadt, Germany / ed.: W. Lerch, J. Niess, 2008. - XVI, 432 p. - Текст : непосредственный. Ultra clean processing of semiconductor surfaces X : the 10th intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS 2010), was held in Oostende, Belgium, on Sept. 20-22, 2010 / International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (10; 2010; Oostende), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
