ГПНТБ России - Полное описание

Полное описание

Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике : сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (ТУ) ; под ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : МИЭТ, 2008. - 183 с. - (Приоритетные национальные проекты "Образование"). - 80 экз. - ISBN 978-5-7256-0492-4. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76
47.33.33	621.383

Рубрики:
Микроэлектроника
Оптоэлектроника

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Коркишко, Ю.Н.\ред.\
Московский гос. ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-08/46035)

Шифр в сводном ЭК: 8d58b2ae84fbc95fb7250b48f9446722

Коркишко Ю.Н. Физика и технология ионного обмена в кристаллах для формирования элементов интегральной оптоэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.10 / Ю. Н. Коркишко, 1992. - 36 с. - Текст : непосредственный.Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова, 2010. - 392 с. - Текст : непосредственный.Методы исследования состава и структуры материалов электронной техники : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника" по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электроники" и "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы":В 2 ч. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т);Под ред. Ю.Н.Коркишко. Ч. 1 : Методы исследования состава материалов электронной техники / Ю.Н.Коркишко,А.Г.Борисов,Н.Г.Никитина и др., 1997. - 256 с. - Текст : непосредственный.Методы исследования состава и структуры материалов электронной техники : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника" по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электроники" и "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы":В 2 ч. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т);Под ред. Ю.Н.Коркишко. Ч. 2 : Методы исследования структуры материалов электронной техники / Л.И.Матына,В.А.Федоров,Ю.Н.Коркишко, 1997. - 120 с. - Текст : непосредственный.Технологии микроэлектроники, оптоэлектроники и волоконной оптики : сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электронной техники, 2006. - 375 с. - Текст : непосредственный.Материалы, процессы, оборудование в нано-, микро-, и оптоэлектронике : сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (ТУ), 2008. - 183 с. - Текст : непосредственный.