• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Fella, R. Herstellung, Aufbau, Eigenschaften und Anwendungsverhalten von metastabilen Schichten aus dem System Ti-Si-C-N : Diss. / R.Fella. - Karlsruhe, 1992. - 188 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N5021). - Текст : непосредственный.
    Рез. англ., нем. Библиогр.: с.162-188
    Перевод заглавия: Получение, структура, свойства и параметры использования метастабильных слоев из системы Ti-Si-C-N.Дис.

    ГРНТИ УДК
    31.17.15546.821-386.03:539.216.2(043)

    Рубрики:
    Титан, соединения, пленки
    Магнетронные распылительные системы

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/5021)

    Шифр в сводном ЭК: 6c21e9363cf6b3ccfdcc625ec0d59918



    Заказ фрагмента документа ₽