• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Смирнов, В. К. Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. К. Смирнов. - М., 1995. - 35 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.34-35 (24 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-6702)

    Шифр в сводном ЭК: 4a98d899e991746256876eeb6824e2d8



    Заказ фрагмента документа ₽